[发明专利]一种埃米级不同材料的三维打印方法

权利要求书

1.一种埃米级不同材料的三维打印方法，其步骤包括：

1)用类似原子层沉积的方式在基板上吸附或反应一个原子层前驱体气体。

2)在探针上吸附一个原子层的反应液体。

3)借助前驱体气体和反应液体反应生成原子分子的特点，通过探针在基板上的运动进行第一个原子层片上的绘制工作，绘制的线被称为地基原子线。

4)在探针上吸附一个原子层的反应液体。

5)类似原子层沉积的方式，地基原子线上可以吸附或反应前驱体气体。

6)通过吸附原子层反应液体的探针的运动形成突出第一个原子层片的原子线。

7)在探针上吸附一个原子层的反应液体。

8)类似原子层沉积的方式，在突出的原子线两侧及上方又可以进行吸附或反应前驱体气体，根据打印的需求确定接下来探针的运动方向进行反应。

9)不断重复步骤，7)，8)，直到打印结束。

2.如权利要求1所述的探针上吸附一个原子层的反应液体，其特征在于将探针的温度恒定在反应气体液化相变的温度点附近以下，探针放入到反应气体室中，探针上会吸附上原子层的反应液体。

3.如权利要求1所述的类似原子层沉积的方式，其特征在于将不同的材料源瓶和惰性气体瓶分别连接不同的气流管道通往打印室的进气孔，打印室的出气孔接另一段气流管道，气流管道后接过滤器，而后接干泵，和冷水机，空气压缩机。打开干泵，冷水机，空气压缩机，使打印室抽真空，加热保温打印室的温度为材料生长所需的温度。打开装有前驱体气体的源瓶，使前驱体气体沿着气流管道进入打印室，和基板发生物理吸附或化学吸附或表面饱和反应，关闭源瓶。打开惰性气体瓶，惰性气体沿着气流管道进入打印室，吹扫前驱体气体，干泵将未和基板吸附或反应的前驱体气体和惰性气体吸往出气口，通过气流通道到过滤器，前驱体气体被吸附到过滤器上，惰性气体经干泵，空气压缩机排除。

4.如权利要求1所述的前驱体气体和反应液体，其特征在于这两物质可以进行化学反应，可以应用不同的前驱体气体和反应液体进行打印，实现掺杂材料的三维打印。