[发明专利]一种空间扫描探针显微镜

权利要求书

1.一种空间扫描探针显微镜，其步骤包括：

设要测试的材料为原子层沉积生长顺序为A₁A₂A₃...A_n B₁B₂B₃...B_m C₁C₂C₃...C_pD₁D₂D₃...D_q……的材料。ABCD代表不同的原子膜，下标为第几层单原子膜。

1)通过原子层沉积技术控制变量研究的材料原子膜生长的次数，进行扫描探针显微镜的观测获取观测数据。

2)将除研究的材料原子外其他材料的总原子在观测数据中的占比从大到小排序。

3)构建梯度映射模型，将排序后的材料数据重新定义放入到梯度映射模型中，进行材料结构的内部映射，最后根据计算机推测出剩下的原子空间位置。

4)通过计算机构建出单原子的位置。将每个原子的空间位置通过计算机构建在一起。

2.如权利要求1所述的梯度映射模型，其特征在于

箭头代表映射，m代表计算。

a₁＝b₁+b₂＝c₁+c₂+c₃＝d₁+d₂+d₃+d_d＝e₁+e₂+e₃+e₄+e₅＝f₁+f₂+f₃+f₄+f₅+f₆＝......

a₁＞b₁＞b₂ c₁＞c₂＞c₃ d₁＞d₂＞d₃＞d₄ e₁＞e₂＞e₃＞e₄＞e₅ f₁＞f₂＞f₃＞f₄＞f₅＞f₆

b₂＝c₁ c₂＝d₁ c₃＝d₂＝e₁ d₃＝e₂＝f₁ d₄＝e₃＝f₂ e₄＝f₃ e₅＝f₄

e₄^[m]＝a₁-(e₁+e₂+e₃+e₅) f^5[m]＝a₁-(f₁+f₂+f₃+f₄+f₆) 。