[发明专利]一种减铜微蚀剂及其制备方法

权利要求书

1.一种减铜微蚀剂，其特征在于，所述减铜微蚀剂的溶剂为水，所述减铜微蚀剂的溶质包括：H₂SO₄ 50-130g/L、H₂O₂ 6-20g/L、稳定剂30-60g/L、缓蚀剂1-15g/L、含N杂环化合物1-10g/L。

2.根据权利要求1所述的减铜微蚀剂，其特征在于：所述减铜微蚀剂的溶质包括：H₂SO₄70-120g/L、H₂O₂ 8-18g/L、稳定剂40-50g/L、缓蚀剂2-12g/L，含N杂环化合物1-6g/L。

3.根据权利要求1或2所述的减铜微蚀剂，其特征在于：所述缓蚀剂选自聚乙烯亚胺、三乙醇胺、二乙醇胺、N-甲基二乙醇胺中的至少一种。

4.根据权利要求1或2所述的减铜微蚀剂，其特征在于：所述稳定剂选自对羟基苯磺酸、乙二醇甲醚、二乙二醇、丙二醇丁醚中的至少一种。

5.根据权利要求1或2所述的减铜微蚀剂，其特征在于：所述含N杂环化合物选自1-羟乙基-2-油基咪唑啉、2-甲基咪唑、苯并三氮唑、卤化吡啶、N-甲基吡咯烷酮、苯并吡咯中的至少一种。

6.一种如权利要求1-5任一项所述的减铜微蚀剂的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、量取硫酸和部分水，将硫酸加入水中以稀释硫酸，形成稀硫酸溶液；

S2、量取双氧水溶液，将双氧水溶液加入稀硫酸溶液中并搅拌均匀，形成混合液；

S3、分别量取稳定剂、缓蚀剂和含N杂环化合物，将稳定剂、缓蚀剂、含N杂环化合物依次加入混合液中并搅拌均匀，形成微蚀剂浓液；

S4、量取水并加入微蚀剂浓液中至溶液的体积为配制体积，搅拌均匀后制得减铜微蚀剂。

7.根据权利要求6所述的减铜微蚀剂的制备方法，其特征在于，步骤S2中，待稀硫酸溶液冷却至室温后再向其中加入双氧水溶液。

8.根据权利要求6所述的减铜微蚀剂的制备方法，其特征在于，步骤S1中，将质量分数为50％的硫酸溶液加入水中以稀释硫酸。

9.根据权利要求6所述的减铜微蚀剂的制备方法，其特征在于，步骤S2中，所述双氧水溶液的质量分数为35％。