[发明专利]一种可调谐的薄膜体声波谐振器

权利要求书

1.一种可调谐的薄膜体声波谐振器，其特征是，包括位于中间区域的谐振器，以及谐振器周围的叉指结构；谐振器周围的叉指结构设置于谐振器对应的一条边或多条边上；叉指结构与谐振器对应边垂直，或与谐振器对应边成一定角度。

2.如权利要求1所述的可调谐的薄膜体声波谐振器，其特征是，谐振器包括下电极、压电层、上电极；下电极和上电极的材料为Mo、Al、Pt、Au，压电材料为AlN、PZT、LiNbO₃、LiTaO₃。

3.如权利要求1所述的可调谐的薄膜体声波谐振器，其特征是，谐振器周围的叉指结构的末端为直线，或弧线，或直线和弧线的混合结构；叉指结构的宽度、长度、数量、间距可调。

4.如权利要求1所述的可调谐的薄膜体声波谐振器，其特征是，谐振器周围的叉指结构上、下电极形状相同，且叉指结构电极材料与中间区域谐振器的电极材料相同。

5.如权利要求1所述的可调谐的薄膜体声波谐振器，其特征是，谐振器周围的叉指结构的压电层刻蚀成与叉指结构相同的形状，或不刻蚀，并且叉指结构压电层材料与中间区域谐振器的压电材料相同。

6.如权利要求1所述的可调谐的薄膜体声波谐振器，其特征是，中间区域的谐振器的形状为四边形、五边形、六边形或多边形。

7.如权利要求1所述的可调谐的薄膜体声波谐振器，其特征是，中间区域谐振器某一条边上叉指结构的倾斜角度与另外边上叉指结构的倾斜角度相同或不同。