[发明专利]线切机过线轮调节装置在审

专利信息
申请号: 201911265492.6 申请日: 2019-12-11
公开(公告)号: CN110774465A 公开(公告)日: 2020-02-11
发明(设计)人: 孙玉虎;张顺;高稳 申请(专利权)人: 晶海洋半导体材料(东海)有限公司
主分类号: B28D5/04 分类号: B28D5/04;B28D7/00;B24B27/06
代理公司: 31300 上海华诚知识产权代理有限公司 代理人: 徐颖聪
地址: 222000 江苏省连*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 长条形滑轨 横移滑块 过线轮 压块 调节装置 紧固机构 螺纹孔 线切机 螺栓 表面形成 调整定位 横向设置 快捷移动 螺栓螺合 生产效率 外侧表面 滑动 穿出 抵接 移动 自由 配合 保证
【说明书】:

发明提供一种线切机过线轮调节装置,包括:长条形滑轨,所述长条形滑轨横向设置;横移滑块,所述横移滑块套设在所述长条形滑轨上且能够沿所述长条形滑轨滑动,所述横移滑块的一侧设有螺纹孔,所述横移滑块用于带动过线轮沿着所述长条形滑轨移动;紧固机构,所述紧固机构包括螺栓和压块,所述压块具有与所述长条形滑轨的外侧表面相配合的卡槽,所述螺栓螺合在所述横移滑块的螺纹孔内且其一端穿出所述横移滑块并与所述压块相连以将所述压块抵接在所述长条形滑轨上,所述压块的卡槽的至少一侧表面形成为矩形。根据本发明的线切机过线轮调节装置,能够增加过线轮调节的稳定性,保证过线轮的自由快捷移动调整定位,提高生产效率。

技术领域

本发明涉及硅片制造领域,具体涉及一种线切机过线轮调节装置。

背景技术

近年来,硅片切割行业传统的砂浆切割逐渐被金刚线切割所替代,其主要切割辅材金钢线线径由70微米逐步下降到50微米甚至更细,因此对硅棒加工工艺和设备提出了更高的要求。

现有的线切机过线轮调节装置,在使用过程中,存在以下问题:

1)过线轮上钢线的抖动;

2)过线轮角度调整不精准;

3)过线轮行程偏短。

发明内容

有鉴于此,本发明提供一种线切机过线轮调节装置,以解决过线轮上钢线抖动、过线轮角度调整不精准、及过线轮行程偏短的问题。

为解决上述技术问题,根据发明提供一种线切机过线轮调节装置,包括:

长条形滑轨,所述长条形滑轨横向设置;

横移滑块,所述横移滑块套设在所述长条形滑轨上且能够沿所述长条形滑轨滑动,所述横移滑块的一侧设有螺纹孔,所述横移滑块用于带动过线轮沿着所述长条形滑轨移动;

紧固机构,所述紧固机构包括螺栓和压块,所述压块具有与所述长条形滑轨的外侧表面相抵接的卡槽,所述螺栓螺合在所述横移滑块的螺纹孔内且其一端穿出所述横移滑块并与所述压块相连以将所述压块抵接在所述长条形滑轨上,所述压块的卡槽的至少一侧表面形成为矩形。

进一步地,所述横移滑块包括相对设置的第一滑块和第二滑块,所述第一滑块和所述第二滑块通过紧固件连接,所述第二滑块上设有所述螺纹孔以与所述紧固机构相连接。

进一步地,所述压块上形成有径向定位部,所述径向定位部与所述第二滑块相配合,所述径向定位部用于对所述压块进行径向定位。

进一步地,所述径向定位部设置在所述压块的下部,所述径向定位部形成为平台。

进一步地,所述螺栓为M10螺栓。

进一步地,还包括:支架,所述支架上端与所述横移滑块相连,且所述支架的下端用于安装所述过线轮。

进一步地,所述支架包括侧板,所述线切机过线轮调节装置还包括:

调节板,所述调节板套设在所述长条形滑轨上且其端部与所述横移滑块相连,所述调节板上形成有弧形调节槽,所述支架的侧板可移动地连接在所述弧形调节槽中。

进一步地,所述支架的侧板上设有螺杆,所述螺杆穿过所述弧形调整槽且其另一端配合有螺母。

进一步地,所述支架的侧板还形成有安装轴,相应地所述调节板上形成有安装孔,所述安装轴配合在所述安装孔内,所述侧板能够以所述安装轴为中心进行转动。

进一步地,还包括定位块,所述定位块位于所述第一滑块内且配合在所述长条形滑轨外侧,所述定位块与所述调节板相连,所述定位块用于所述调节板的定位。

本发明的上述技术方案至少具有如下有益效果之一:

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