[发明专利]压力测量系统

说明书

本发明提供一种具备可简便地设置、改变设定值的真空计的压力测量系统。本发明的压力测量系统(MS)具有：真空计和终端机(Mt)，所述真空计的主体安装在测量对象物上，所述主体内具有：传感器部(20)，其接收电源供给而工作；控制部(30)，其控制传感器部的工作，并处理来自该传感器部的输入，输出规定信号；以及电源电路部(40，50)，将电力供给到控制部和传感器部；所述终端机(Mt)，其可经通信线路(60)与控制部可自由通信地连接，并可通过有线或无线将电力供给到电源电路部。真空计可判断从终端机给该控制部的电力供给，当从终端机对控制部进行电力供给时，真空计的控制部和终端机经通信线路相互可自由通信地连接。

技术领域

本发明涉及一种具有安装在测量对象物上的主体上并测量其内部压力的真空计的压力测量系统。

背景技术

以往，在利用真空的装置和仪器中，为了测量低于大气压的压力(真空度)，而与压力区和使用环境对应地使用测量原理不同的各种真空计。以在硅晶片和玻璃基板等被处理基板上实施规定的真空处理的真空处理装置中使用的皮拉尼真空计为例进行说明，皮拉尼真空计具有在作为测量对象物的真空处理装置的真空室内可自由安装的主体，该主体内设置有：传感器部，其接收电力供给而工作；控制部，其控制传感器部的工作，并处理来自该传感器部的输入，输出规定信号；以及电源电路部，其从外部电源接收电力供给并向控制部和传感器部供电(例如参照专利文献1)。在这样的皮拉尼真空计中，存在可存储决定高真空排气用泵、气体流量调节阀和闸阀这类构成真空处理装置的可动部件的工作的设定值(设置值)的装置，其根据来自传感器部的输入和设定值，对真空处理装置的装置主体的控制单元等输出特定的信号。这样的设定值通常可通过设置在皮拉尼真空计主体上的设置按钮和电位计等适当改变。

此处，上述真空计通常接收来自装置主体的电力供给(例如DC24V)而工作。因此，在组装、设置真空处理装置时，存在因未接收到电力供给而不能以任何方式对真空计进行例如设定、改变设定值(设置值)等作业的问题。另一方面，在从装置主体接收到电力供给后，即使是在设定、改变设定值(设置值)时，有时也需要在真空处理装置狭窄的作业空间中观察传感器部输出的变化并操作电位计等，该作业耗费大量时间。而且，在由于故障而更换新的真空计时，需要将既有的设定值转移(设置)在新真空计上，但要像上述那样设置、改变设定值(设置值)，存在容易产生人为失误的问题。

现有技术文献

专利文献

【专利文献1】日本专利公开2012-26995号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

本发明是鉴于以上技术问题而完成的，其目的是提供一种可简便地设置、改变设定值的压力测量系统。

解决技术问题的手段

为了解决上述技术问题，本发明的压力测量系统，其特征在于，具有：真空计和终端机，所述真空计的主体安装在测量对象物上，在所述主体内具有：传感器部，其接收电源供给而工作；控制部，其控制传感器部的工作，并处理来自该传感器部的输入，输出规定信号；以及电源电路部，将电力供给到控制部和传感器部；所述终端机，其可经通信线路与控制部自由通信地连接，并可通过有线或无线将电力供给到电源电路部，在所述压力测量系统中，真空计可判断从终端机给该控制部的电力供给，当从终端机对控制部进行电力供给时，真空计的控制部和终端机经通信线路相互可自由通信地连接。