[发明专利]电极具有空隙层的体声波谐振器、滤波器及电子设备

权利要求书

1.一种体声波谐振器，包括：

基底；

声学镜；

底电极；

顶电极；和

压电层，设置在底电极与顶电极之间，

其中：

底电极和/或顶电极为间隙电极，所述间隙电极具有空隙层，空隙层的上侧具有上电极层，空隙层的下侧具有下电极层，所述空隙层在谐振器的厚度方向上设置于所述上电极层与下电极层之间，上电极层与下电极层在空隙层的两端彼此并联电连接；

上电极层和下电极层中的一个电极层为具有在谐振器的厚度方向上远离上电极层和下电极层中的另一个电极层的弧度的弧形电极层；

所述空隙层为气体介质间隙层或者真空间隙层。

2.根据权利要求1所述的谐振器，其中：

所述空隙层的厚度在的范围内。

3.根据权利要求2所述的谐振器，其中：

所述空隙层的厚度在的范围内。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的谐振器，其中：

所述顶电极为间隙电极。

5.根据权利要求4所述的谐振器，其中：

所述上电极层为弧形电极层。

6.根据权利要求4所述的谐振器，其中：

所述下电极层为弧形电极层。

7.根据权利要求6所述的谐振器，其中：

所述声学镜为声学镜空腔；

所述底电极具有朝向声学镜空腔内凸出的弧形。

8.根据权利要求1-3中任一项所述的谐振器，其中：

所述底电极为间隙电极。

9.根据权利要求8所述的谐振器，其中：

所述声学镜为声学镜空腔；

所述下电极层为朝向声学镜空腔内凸出的弧形电极层。

10.根据权利要求8所述的谐振器，其中：

所述上电极层为朝向压电层凸出的弧形电极层。

11.根据权利要求10所述的谐振器，其中：

所述顶电极具有对应于上电极层的形状的弧形。

12.根据权利要求10所述的谐振器，其中：

所述声学镜为声学镜空腔。

13.根据权利要求10所述的谐振器，其中：

所述空隙层构成所述声学镜。

14.根据权利要求1-3中任一项所述的谐振器，其中：

所述底电极和顶电极均为间隙电极；且

两个间隙电极的远离压电层的电极层均为远离压电层凸出的弧形电极层。

15.一种滤波器，包括根据权利要求1-14中任一项所述的体声波谐振器。

16.一种电子设备，包括根据权利要求15所述的滤波器或者根据权利要求1-14中任一项所述的谐振器。