[发明专利]一种可见光到近红外光带通滤波石墨烯光电探测器有效
| 申请号： | 201911266930.0 | 申请日： | 2019-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN111129181B | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 刘锋;曹峻;赵炎亮;胡耕涛;杨建文;曹铎;石卉 | 申请（专利权）人： | 上海师范大学 |
| 主分类号： | H01L31/0232 | 分类号： | H01L31/0232;H01L31/028;H01L31/09;H01L31/101 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 蒋亮珠 |
| 地址： | 200234 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 可见光 红外 光带 滤波 石墨 光电 探测器 | ||
1.一种在可见光到近红外波段具有带通滤波功能的石墨烯光电探测器，其特征在于，该探测器包括自下而上依次堆叠的基板（1）、第一膜堆（2）、光电探测器层、二氧化硅缺陷层（5）以及第二膜堆（6）；
所述的第一膜堆（2）包括交替排列的五氧化二铌层和二氧化硅层，所述的第二膜堆（6）包括交替排列的五氧化二铌层和二氧化硅层；
所述的光电探测器层包括石墨烯层（3）、金属电极（4），所述的石墨烯层（3）位于第一膜堆（2）上方，石墨烯层（3）为单层结构；
二氧化硅缺陷态层与第一膜堆最后一层的二氧化硅层共同构成共振腔，该共振腔厚度为100-775 nm，石墨烯层（3）处于共振腔中，其中，二氧化硅层的厚度为89.5 nm，并可以通过二氧化硅缺陷层（5）厚度的调整，实现不同波段的窄带滤光。
2.根据权利要求1所述的一种在可见光到近红外波段具有带通滤波功能的石墨烯光电探测器，其特征在于，所述的基板（1）材料包括光学浮法玻璃。
3.根据权利要求1所述的一种在可见光到近红外波段具有带通滤波功能的石墨烯光电探测器，其特征在于，所述的第一膜堆（2）的总层数不少于10层。
4.根据权利要求3所述的一种在可见光到近红外波段具有带通滤波功能的石墨烯光电探测器，其特征在于，所述的五氧化二铌层与基板（1）贴合。
5.根据权利要求1所述的一种在可见光到近红外波段具有带通滤波功能的石墨烯光电探测器，其特征在于，所述的金属电极（4）和二氧化硅缺陷层（5）均位于石墨烯层（3）上方，所述的二氧化硅缺陷层（5）位于中心，所述的金属电极（4）对称位于二氧化硅缺陷层（5）两侧。
6.根据权利要求1所述的一种在可见光到近红外波段具有带通滤波功能的石墨烯光电探测器，其特征在于，所述的金属电极（4）材料包括银。
7.根据权利要求1所述的一种在可见光到近红外波段具有带通滤波功能的石墨烯光电探测器，其特征在于，所述金属电极（4）的间距小于100 μm。
8.根据权利要求1所述的一种在可见光到近红外波段具有带通滤波功能的石墨烯光电探测器，其特征在于，所述的第二膜堆（6）的总层数不少于10层。
9.根据权利要求8所述的一种在可见光到近红外波段具有带通滤波功能的石墨烯光电探测器，其特征在于，所述的五氧化二铌层与二氧化硅缺陷层（5）贴合。
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