[发明专利]一种集成电路测试系统时间参数校准方法及校准装置

说明书

本发明属于集成电路测试系统校准技术，为一种集成电路测试系统时间参数校准方法及校准装置。该校准方法通过测量集成电路测试系统测试通道多种指标分量，包括通道间同步偏差时间，通道传输延迟时间等分量。根据分量的测量数值结果进行计算，可以通过时间参数测量误差量化计算方法定量分析并计算出测试系统在进行集成电路时间参数测量过程中所引入的系统偏差。该系统偏差值可以进行量值修正以提升集成电路时间参数测量结果的准确度。该装置由同步偏差时间测量装置、通道切换装置、测量适配器组成等部分组成。本发明所提供的校准方法具有较高的适应性和多通道测量能力，校准装置具有精度高，自动化程度高等特点。

技术领域

本发明涉及集成电路测试校准领域，具体为一种适用于集成电路测试系统时间参数校准所使用的校准技术及装置。

背景技术

集成电路元器件的翻转时间、延迟时间、脉冲宽度等参数是与时间相关的参量，统称为集成电路时间参数。集成电路时间参数的测量和定值需要通过集成电路测试系统对其进行测试来实现，因此测试系统在测量集成电路元器件的时间参数之前，需要对测试系统本身的与时间参数有关的部件进行校准，确保测试系统本身准确可靠，达到准确测量集成电路时间参数的目的。数字通道作为集成电路测试系统的主要部件，也是承担集成电路时间参数测量的主要部件，本发明主要是针对数字通道进行时间参数校准。

发明内容

针对现有技术存在的问题，提供一种集成电路测试系统时间参数校准方法及校准装置。

本发明的目的是通过以下技术方案实现的：

根据本发明的第一方面的一种集成电路测试系统时间参数校准方法，所述校准方法包括以下步骤：

S1、使用集成电路测试系统测量集成电路时间参数，对所述集成电路测试系统的各个测试通道进行分项测量，获取同步偏差时间和传输延迟时间；

S2、通过公式计算出所述集成电路测试系统在进行集成电路时间参数测量的过程中所引入的系统误差。

在上述方面中，所述步骤S1中分项测量包括：

从所述各个测试通道中任选一条通道作为参考通道，从剩余通道中任选两条通道记为m通道和n通道；

选取n通道提供驱动信号，m通道作为测量信号通道；设测得n通道的传输延迟时间为t_pdn，测得m通道的传输延迟时间为t_pdm；设n通道相对于所述参考通道的同步偏差时间为Δt_n，m通道相对于所述参考通道的同步偏差时间为Δt_m。

在上述方面中，所述步骤S2中的公式具体为：

t_syserr＝t_Dn+t_Rm

t_Dn＝t_pdn-Δt_n

t_Rm＝t_pdm+Δt_m

其中，t_syserr表示集成电路时间参数测量所引入的系统误差，t_Dn为n通道的信号驱动偏差，t_Rm为m通道的信号测量偏差。

在上述方面中，所述传输延迟时间t_pdn、t_pdm可以通过时域反射法进行直接测量。

根据本发明的第二方面的一种集成电路测试系统时间参数校准装置，所述装置包括集成电路测试系统时间参数校准装置，具体包括同步偏差时间测量装置、通过线缆与所述同步偏差时间测量装置连接的通道切换装置以及通过线缆与所述通道切换装置连接的测量适配器。

在上述方面中，所述同步偏差时间测量装置具有十皮秒级时间间隔测量功能。