[发明专利]一种磷锗锌晶体的组合加工方法在审
| 申请号： | 201911267395.0 | 申请日： | 2019-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN111136812A | 公开（公告）日： | 2020-05-12 |
| 发明（设计）人： | 阳红;曹中浩;戴晓静;张敏;刘有海;孙守利;尹承真;杨光伟 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B24B37/00 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 史丽红 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 磷锗锌 晶体 组合 加工 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种磷锗锌晶体的组合加工方法，其特征在于，包括如下步骤：1)首先采用超精密单点金刚石对磷锗锌晶体表面进行切削；2)然后对磷锗锌晶体切削后的表面进行化学机械抛光。
2.根据权利要求1所述的一种磷锗锌晶体的组合加工方法，其特征在于，步骤1)中的切削过程包括如下步骤：a)粗切：在超精密单点金刚石车床主轴转速为250～1000rpm，进给速度0～10mm/min的条件下，使磷锗锌晶体表面去除量为4～8μm；b)半精切：在超精密单点金刚石车床主轴转速为250～1000rpm，进给速度0～6mm/min的条件下，使磷锗锌晶体表面去除量为2～4μm；c)精切：在超精密单点金刚石车床主轴转速为250～1000rpm，进给速度0～2mm/min的条件下，使磷锗锌晶体表面去除量为1～2μm；其中上述切削过程的环境温度均控制在20±2℃，湿度均控制在40％～60％之间。
3.根据权利要求1所述的一种磷锗锌晶体的组合加工方法，其特征在于，利用旋转重力式研抛机对切削后的磷锗锌晶体进行抛光。
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