[发明专利]一种锌镓氧紫外探测器及其制备方法在审
| 申请号： | 201911267465.2 | 申请日： | 2019-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN111081799A | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 刘可为;韩冬阳;申德振;陈星;张振中;李炳辉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | H01L31/032 | 分类号： | H01L31/032;H01L31/0224;H01L31/102;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 任美玲 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 锌镓氧 紫外 探测器 及其 制备 方法 | ||
1.一种ZnGa2O4紫外探测器，其特征在于，包括依次复合而成的衬底、ZnGa2O4薄膜以及金属叉指电极；
所述ZnGa2O4薄膜以有机锌化合物作为锌源，有机镓化合物作为镓源，以高纯氧气为氧源，利用金属有机化合物化学气相沉积法在衬底表面沉积得到。
2.根据权利要求1所述的紫外探测器，其特征在于，所述ZnGa2O4薄膜为尖晶石结构，沿(111)、(222)、(333)取向生长，为单一取向；
所述ZnGa2O4薄膜的厚度为100～600nm；
所述ZnGa2O4薄膜的吸收截止边为240～280nm；
所述ZnGa2O4紫外探测器的光响应截止边为250～280nm。
3.根据权利要求1所述的紫外探测器，其特征在于，所述有机锌化合物为二乙基锌和/或二甲基锌；所述有机镓化合物为三甲基镓和/或三乙基镓。
4.根据权利要求1所述的紫外探测器，其特征在于，所述有机锌化合物以高纯氮气为载气，所述载气流速为5～20sccm；所述有机镓化合物以高纯氮气为载气，所述载气流速为10～40sccm；所述氧气流速为100～400sccm。
5.根据权利要求1所述的紫外探测器，其特征在于，所述衬底选自蓝宝石衬底、氧化镁或铝酸镁。
6.根据权利要求1所述的紫外探测器，其特征在于，所述沉积的温度为400～1100℃；所述沉积的时间为1h～3h；进行沉积的真空度为2×102～1×104Pa。
7.根据权利要求1所述的紫外探测器，其特征在于，所述生长结束后，降低衬底温度到室温，得到ZnGa2O4薄膜；所述降温的速率为0.2～0.8℃/s。
8.根据权利要求1所述的紫外探测器，其特征在于，所述金属叉指电极为金叉指电极，所述金属叉指电极的厚度为20～40nm。
9.根据权利要求1所述的紫外探测器，其特征在于，所述叉指电极表面复合有铟粒。
10.一种如权利要求1～9任意一项所述的紫外探测器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
A)以有机锌化合物作为锌源，有机镓化合物作为镓源，以高纯氧气为氧源，利用金属有机化合物化学气相沉积法在衬底表面沉积ZnGa2O4薄膜；
B)在ZnGa2O4薄膜材料上使用负胶光刻形成叉指电极掩膜，溅射金属金后去除胶体掩膜，得到金属叉指电极；
C)在叉指电极上按压In粒，得到MSM结构的ZnGa2O4紫外探测器。
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