[发明专利]钻头加工装置以及钻头加工方法

权利要求书

1.一种钻头加工装置，具备马达一体型的心轴，利用安装于该心轴的转子轴的钻头对被载置在工作台上的被加工物进行开孔，其特征在于，具备：电极，被设置在前述心轴的定子侧而与前述转子轴静电结合；电容值变化检测部，检测由前述电极检测的与地线之间的电容器的电容值的变化；控制部，在由该电容值变化检测部检测到前述电容值的变化的时间点判定为前述钻头破损，

前述电容值变化检测部在前述钻头破损而破损部的金属部与前述被加工物接触时，检测前述电容值的变化。

2.如权利要求1所述的钻头加工装置，其特征在于，具备移位检测部，所述移位检测部检测压力脚与心轴单元的卡合状态的移位，在由该移位检测部检测到了移位时检测前述被加工物的表面高度，所述压力脚用于将前述被加工物向前述工作台推压，所述心轴单元保持前述心轴。

3.如权利要求1所述的钻头加工装置，其特征在于，前述电容值变化检测部在包含前述电容器的电路引起共振而检测前述电容值的变化。

4.如权利要求1所述的钻头加工装置，其特征在于，在检测到前述电容值的变化的时间点停止开孔动作。

5.如权利要求1所述的钻头加工装置，其特征在于，在用于将被加工物向前述工作台推压的压力脚与前述被加工物抵接时，检测该被加工物的表面位置。

6.一种钻头加工方法，借助被安装于马达一体型的心轴的转子轴的钻头对被载置在工作台上的被加工物进行开孔，其特征在于，在前述钻头破损而破损部的金属部与被加工物接触时，在检测到被设置于前述心轴的定子侧与前述转子轴静电结合的电极与地线之间的电容器的电容值的变化的时间点判定为前述钻头破损，

在前述钻头破损而前述破损部的金属部与前述被加工物接触时，检测前述电容值的变化。

7.如权利要求6所述的钻头加工方法，其特征在于，在检测到压力脚和心轴单元的卡合状态的移位时检测前述被加工物的表面高度，所述压力脚用于将前述被加工物向前述工作台推压，所述心轴单元保持前述心轴。

8.如权利要求6所述的钻头加工方法，其特征在于，在前述电容器引起共振而检测前述电容值的变化。

9.如权利要求6所述的钻头加工方法，其特征在于，在检测到前述电容值的变化的时间点停止开孔动作。

10.如权利要求6所述的钻头加工方法，其特征在于，前述钻头的刃尖部整体由金刚石被膜覆盖。