[发明专利]一种适用于PPB级高纯氮生产的吸附装置及具有其的纯化器在审
申请号: | 201911268227.3 | 申请日: | 2019-12-11 |
公开(公告)号: | CN110893306A | 公开(公告)日: | 2020-03-20 |
发明(设计)人: | 王开兵;王君;钟小禹;刘巍;全诗林;高生明 | 申请(专利权)人: | 广州广钢气体能源股份有限公司 |
主分类号: | B01D53/04 | 分类号: | B01D53/04;B01D46/00 |
代理公司: | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人: | 林丽明;王锦霞 |
地址: | 510032 广东省广州市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 适用于 ppb 高纯 生产 吸附 装置 具有 纯化 | ||
1.一种适用于PPB级高纯氮生产的吸附装置(100),其特征在于,包括吸附桶(101)、连通于吸附桶(101)底部的气体入口(102)以及连通于吸附桶(101)顶部的气体出口(103),所述气体入口(102)与气体出口(103)之间设有用于吸附脱除H2O的第一吸附层(104)、用于吸附CO的第二吸附层(105)以及用于吸附CO2的第三吸附层(106),所述第一吸附层(104)、第二吸附层(105)、第三吸附层(106)自下而上层叠设置于吸附桶(101)内部,所述气体入口(102)与第一吸附层(104)之间设有气体分布器(107)。
2.根据权利要求1所述的适用于PPB级高纯氮生产的吸附装置(100),其特征在于,所述第一吸附层(104)、第二吸附层(105)以及第三吸附层(106)之间分隔有丝网(108)。
3.根据权利要求2所述的适用于PPB级高纯氮生产的吸附装置(100),其特征在于,所述第一吸附层(104)内装填有活性氧化铝,所述第二吸附层(105)内装填有锰铜催化剂,所述第三吸附层(106)内装填有分子筛。
4.根据权利要求1所述的适用于PPB级高纯氮生产的吸附装置(100),其特征在于,所述第三吸附层(106)与气体出口(103)之间连接有颗粒过滤层(109)。
5.根据权利要求1所述的适用于PPB级高纯氮生产的吸附装置(100),其特征在于,所述吸附桶(101)安装于裙座,所述吸附桶(101)顶部设有第一检修人孔(110),所述裙座侧部设有第二检修人孔(111)。
6.根据权利要求1至5任一项所述的适用于PPB级高纯氮生产的吸附装置(100),其特征在于,所述第一吸附层(104)、第二吸附层(105)及第三吸附层(106)侧部均设有加卸料手孔(112),所述加卸料手孔(112)均设于吸附桶(101)壁。
7.一种适用于PPB级高纯氮生产的纯化器,其特征在于,包括如权利要求1至6任一项所述的吸附装置(100)、解吸装置(200)及用于切换吸附状态和解吸状态的阀门切换系统(300),所述阀门切换系统(300)连接于吸附装置(100)和解吸装置(200)之间。
8.根据权利要求7所述的适用于PPB级高纯氮生产的纯化器,其特征在于,所述解吸装置(200)包括加热器(201)、连通于加热器(201)一端的污氮气入口(202)以及连通于吸附装置(100)一端的再生气放空口(203),所述加热器(201)的另一端与所述吸附装置(100)的另一端连通。
9.根据权利要求8所述的适用于PPB级高纯氮生产的纯化器,其特征在于,所述加热器(201)与所述吸附装置(100)均至少为两组。
10.根据权利要求7所述的适用于PPB级高纯氮生产的纯化器,其特征在于,所述阀门切换系统(300)包括多组安全阀,所述安全阀均连接有气体放空口。
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