[发明专利]化学增幅型正型感光性树脂组成物及其应用

权利要求书

1.一种化学增幅型正型感光性树脂组成物，其特征在于，该化学增幅型正型感光性树脂组成物包含：

树脂(A)；

光酸产生剂(B)；以及

溶剂(C)，

其中，该树脂(A)是由混合物所共聚合而得，该混合物包括聚合性单体以及具有下式(2)的结构的硫醇化合物，而该聚合性单体包括不饱和羧酸单体(a-1)、含式(1)的酸解离性基的单体(a-2)以及单体(a-1)、单体(a-2)以外的其他不饱和单体(a-3)：

于该式(1)中，该R¹和该R²各自独立为氢原子、烷基、脂环式烃基或芳基，其中该烷基、该脂环式烃基或该芳基所具有的氢原子的一部分或全部可被取代；而且，该R¹及该R²不可同时为氢原子；该R³为烷基、脂环式烃基、芳烷基或者芳基；其中该R³的该烷基、该脂环式烃基、该芳烷基及该芳基所具有的氢原子的一部分或全部可被取代；该R¹与该R³可相互键结而与该R¹所键结的碳原子以及该R³所键结的氧原子一起形成环状醚结构；

X-R⁴-SH                式(2)

于该式(2)中，X表示酯基、羟基、胺基或烷氧基硅烷基，且该R⁴表示经取代或未经取代的伸烷基或伸芳基。

2.如权利要求1所述的化学增幅型正型感光性树脂组成物，其特征在于，该其他不饱和单体(a-3)包括含环氧基的不饱和单体(a-3-1)。

3.如权利要求1所述的化学增幅型正型感光性树脂组成物，其特征在于，该光酸产生剂(B)为包含下列式(3)的具有肟磺酸酯基的化合物：

于该式(3)中，该R⁵为碳数为1至20的烷基、脂环式烃基、芳基，或是上述基团所具有的氢原子被部分或全部取代的基团，以及该*为键结处。

4.如权利要求1所述的化学增幅型正型感光性树脂组成物，其特征在于，基于该树脂(A)的总使用量为100重量份，该光酸产生剂(B)的使用量为0.2重量份至5重量份，以及，该溶剂(C)的使用量为100重量份至1500重量份。

5.如权利要求1所述的化学增幅型正型感光性树脂组成物，其特征在于，基于该聚合性单体的总使用量为100重量份，该不饱和羧酸单体(a-1)的使用量为1重量份至50重量份，该含式(1)的酸解离性基的单体(a-2)的使用量为5重量份至90重量份，该其他不饱和单体(a-3)的使用量为5重量份至94重量份，以及该具有式(2)的结构的硫醇化合物使用量为1重量份至15重量份。

6.如权利要求2所述的化学增幅型正型感光性树脂组成物，其特征在于，基于该聚合性单体的总使用量为100重量份，该含环氧基的不饱和单体(a-3-1)的使用量为5重量份至80重量份。

7.一种保护膜，其特征在于，该保护膜是将如权利要求1至6的任一项所述的化学增幅型正型感光性树脂组成物涂布于基材上，再经预烤、曝光、显影及后烤处理后所形成。

8.一种具有保护膜的组件，其特征在于，该组件包含基材以及如权利要求7所述的保护膜。