[发明专利]一种用于发光二极管生产的扩片机在审
申请号: | 201911272067.X | 申请日: | 2019-12-12 |
公开(公告)号: | CN111092032A | 公开(公告)日: | 2020-05-01 |
发明(设计)人: | 许海明 | 申请(专利权)人: | 江苏合泓通讯技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/78 |
代理公司: | 合肥左心专利代理事务所(普通合伙) 34152 | 代理人: | 周翠娟 |
地址: | 224000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 发光二极管 生产 扩片机 | ||
1.一种用于发光二极管生产的扩片机,包括机箱(1),所述机箱(1)上表面的四周固定安装有立柱(2),所述立柱(2)的上表面固定安装有下工作台(3),所述下工作台(3)的一侧固定安装有锁扣(4),所述下工作台(3)上表面的一侧滚动安装有上工作盖(5),所述下工作台(3)上表面的中部活动放置有圆晶片(6),所述机箱(1)内腔的中部固定安装有下气泵(7),所述下气泵(7)的上端面且位于机箱(1)的上方固定安装有下压盖(8),所述下压盖(8)下表面的一侧且穿过机箱(1)上表面固定安装有电热管(9),所述机箱(1)上表面的两对角固定安装有支柱(10),所述支柱(10)的上表面固定安装有支板(11),所述支板(11)上表面的中部且与下工作台(3)、下气泵(7)同轴固定安装有上气泵(12),所述上气泵(12)的下端且穿过支板(11)活动安装有泵杆(13),所述泵杆(13)的下表面固定安装有上压盖(14),其特征在于:所述上压盖(14)包括内板(19),所述内板(19)的外表面螺纹安装有中环板(20),所述中环板(20)的外表面螺纹安装有外环板(21),所述泵杆(13)的外表面且位于内板(19)上方固定安装有限位板(22),所述外环板(21)的上表面固定安装有旋转架(15),所述旋转架(15)的上部分固定套装有齿轮一(16),所述支板(11)的上表面且位于上气泵(12)的一侧固定安装有电机(18),所述电机(18)的下端面固定安装有齿轮二(17)。
2.根据权利要求1所述的一种用于发光二极管生产的扩片机,其特征在于:所述旋转架(15)包括立架(23),所述立架(23)的上表面固定安装有横板(24),所述横板(24)的中部固定安装有滚动轴承(25)。
3.根据权利要求2所述的一种用于发光二极管生产的扩片机,其特征在于:所述齿轮一(16)到齿轮二(17)的距离与上压盖(14)下表面到圆晶片(6)上表面的距离相等,所述立架(23)呈阶梯状,所述横板(24)的长度短于齿轮一(16)的直径。
4.根据权利要求1所述的一种用于发光二极管生产的扩片机,其特征在于:所述限位板(22)到外环板(21)的距离与外环板(21)内圈开设的螺纹高度相等,所述限位板(22)的直径小于外环板(21)外圈直径,大于外环板(21)内圈直径。
5.根据权利要求1所述的一种用于发光二极管生产的扩片机,其特征在于:所述内板(19)、中环板(20)、外环板(21)上开设的螺纹都位于上部分,下部分不开设表面光滑。
6.根据权利要求1所述的一种用于发光二极管生产的扩片机,其特征在于:所述泵杆(13)内腔的上部分固定安装有发生器(26),所述发生器(26)的下表面固定安装有换能器(27),所述换能器(27)的下表面固定安装有变幅杆(28),所述变幅杆(28)会发出超声波,超声波是以束波的形式发出的。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造