[发明专利]一种芯片引线框架材料用高纯Cu-Al-Ag合金及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201911273669.7 申请日: 2019-12-12
公开(公告)号: CN112981172B 公开(公告)日: 2022-07-12
发明(设计)人: 杜勇;梁晓新;何霜霜 申请(专利权)人: 昆山微电子技术研究院
主分类号: C22C9/01 分类号: C22C9/01;C22C1/04;C22C9/00;B22F3/04;B22F3/105;B22F9/04
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 常亮
地址: 215347 江苏省苏州市昆*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 芯片 引线 框架 材料 高纯 cu al ag 合金 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种芯片引线框架材料用高纯Cu-Al-Ag合金的制备方法,包括:

将铜粉、铝粉和银粉混合球磨得到混合粉体;所述铜粉、铝粉和银粉的质量比为99:(1~X):X;其中X为0.4~1;所述铜粉为电化学法制备,粒径为4~6μm,纯度为99.9999%;铝粉为高能球磨法制备,粒径为4~6μm,纯度为99.9995%;银粉为液相化学还原法制备,粒径为1~2μm,纯度为99.99%;

将混合粉体冷等压成型,得到Cu-Al-Ag合金毛坯;所述冷等压成型的成型压力为20~40MPa,保压时间为30~90s;成型温度为25~100℃;

将所述Cu-Al-Ag合金毛坯放电等离子烧结,得到Cu-Al-Ag合金材料;所述放电等离子烧结具体为:施加轴向压力,真空烧结,冷却;所述轴向压力为150~200MPa;所述烧结总气压低于5Pa;所述烧结温度的升温速度为10~20℃/min;烧结温度为600~800℃;保温时间为30~60min。

2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述球磨具体为:磨球为ZrO2成分,直径φ为1~10mm,磨球与铜粉、铝粉和银粉混合粉的质量比为10~20:1,球磨机转速为300~1000r/min,球磨时间为6~8h。

3.根据权利要求2所述的制备方法,其特征在于,所述磨球中:直径φ=5mm的磨球质量占55~65%,φ=1mm的磨球质量占5~15%,φ=2mm的磨球质量占5~15%,φ=10mm的磨球质量占15~25%。

4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述球磨后混合粉体的粒径为4~8μm。

5.一种芯片引线框架材料用高纯Cu-Al-Ag合金,其特征在于,由权利要求1~4任意一项所述的制备方法制备得到。

6.一种芯片引线框架,其特征在于,包括权利要求5所述的芯片引线框架材料用高纯Cu-Al-Ag合金。

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