[发明专利]一种芯片引线框架材料用高纯Cu-Al-Ag合金及其制备方法有效
申请号: | 201911273669.7 | 申请日: | 2019-12-12 |
公开(公告)号: | CN112981172B | 公开(公告)日: | 2022-07-12 |
发明(设计)人: | 杜勇;梁晓新;何霜霜 | 申请(专利权)人: | 昆山微电子技术研究院 |
主分类号: | C22C9/01 | 分类号: | C22C9/01;C22C1/04;C22C9/00;B22F3/04;B22F3/105;B22F9/04 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 常亮 |
地址: | 215347 江苏省苏州市昆*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 引线 框架 材料 高纯 cu al ag 合金 及其 制备 方法 | ||
1.一种芯片引线框架材料用高纯Cu-Al-Ag合金的制备方法,包括:
将铜粉、铝粉和银粉混合球磨得到混合粉体;所述铜粉、铝粉和银粉的质量比为99:(1~X):X;其中X为0.4~1;所述铜粉为电化学法制备,粒径为4~6μm,纯度为99.9999%;铝粉为高能球磨法制备,粒径为4~6μm,纯度为99.9995%;银粉为液相化学还原法制备,粒径为1~2μm,纯度为99.99%;
将混合粉体冷等压成型,得到Cu-Al-Ag合金毛坯;所述冷等压成型的成型压力为20~40MPa,保压时间为30~90s;成型温度为25~100℃;
将所述Cu-Al-Ag合金毛坯放电等离子烧结,得到Cu-Al-Ag合金材料;所述放电等离子烧结具体为:施加轴向压力,真空烧结,冷却;所述轴向压力为150~200MPa;所述烧结总气压低于5Pa;所述烧结温度的升温速度为10~20℃/min;烧结温度为600~800℃;保温时间为30~60min。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述球磨具体为:磨球为ZrO2成分,直径φ为1~10mm,磨球与铜粉、铝粉和银粉混合粉的质量比为10~20:1,球磨机转速为300~1000r/min,球磨时间为6~8h。
3.根据权利要求2所述的制备方法,其特征在于,所述磨球中:直径φ=5mm的磨球质量占55~65%,φ=1mm的磨球质量占5~15%,φ=2mm的磨球质量占5~15%,φ=10mm的磨球质量占15~25%。
4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述球磨后混合粉体的粒径为4~8μm。
5.一种芯片引线框架材料用高纯Cu-Al-Ag合金,其特征在于,由权利要求1~4任意一项所述的制备方法制备得到。
6.一种芯片引线框架,其特征在于,包括权利要求5所述的芯片引线框架材料用高纯Cu-Al-Ag合金。
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