[发明专利]多分力传感器

权利要求书

1.一种多分力传感器，其特征在于，包括：用于测量XY轴方向上的力的第一传感器本体(1)、用于测量Z轴方向上的力和XYZ轴扭矩的第二传感器本体(2)和连接导柱(3)；

所述第一传感器本体(1)上形成有两个相互垂直布置的第一梁(6)和第二梁(7)；

所述第二传感器本体(2)包括周边固定圆环(4)和四个沿所述周边固定圆环(4)的径向正交设置的横梁(5)，所述连接导柱(3)的下端位于所述周边固定圆环(4)中并通过所述横梁(5)与所述周边固定圆环(4)连接；

所述第一梁(6)、第二梁(7)、横梁(5)上均贴有应变计；

所述第一传感器本体(1)的上端面为承载平面(8)，所述第一传感器本体(1)的下端与所述连接导柱(3)的上端连接。

2.根据权利要求1所述的多分力传感器，其特征在于，所述第一传感器本体(1)与所述连接导柱(3)为一体成型的圆柱体结构。

3.根据权利要求2所述的多分力传感器，其特征在于，所述第一梁(6)、第二梁(7)沿所述圆柱体结构的延伸方向由上至下依次设置。

4.根据权利要求3所述的多分力传感器，其特征在于，所述圆柱体结构的周向前后两侧形成有第一缺口，两个所述第一缺口之间形成所述第一梁(6)，所述圆柱体结构的周向左右两侧形成有第二缺口，两个所述第二缺口之间形成所述第二梁(7)。

5.根据权利要求1所述的多分力传感器，其特征在于，所述多分力传感器还包括安装底板(9)、外罩(10)和密封盖板(11)，所述密封盖板(11)安装在所述外罩(10)的上端开口处，所述安装底板(9)安装在所述外罩(10)的下端开口处，所述安装底板(9)、外罩(10)和密封盖板(11)之间围成安装空间，所述第一传感器本体(1)、第二传感器本体(2)、连接导柱(3)均设置于所述安装空间中，且所述第二传感器本体(2)与所述安装底板(9)固定连接。

6.根据权利要求5所述的多分力传感器，其特征在于，所述密封盖板(11)上开设有通孔(12)，所述通孔(12)的边缘处形成有外边凹槽(13)，所述第一传感器本体(1)的周向形成有环状密封槽(14)，所述第一传感器本体(1)的上端插入所述通孔(12)中，所述多分力传感器还包括密封膜片(15)和压紧组件，所述密封膜片(15)通过所述压紧组件安装在所述外边凹槽(13)及所述环状密封槽(14)处。

7.根据权利要求6所述的多分力传感器，其特征在于，所述压紧组件包括用于将所述密封膜片(15)与所述外边凹槽(13)压紧密封的外圈压紧环(16)、和用于将所述密封膜片(15)与所述环状密封槽(14)压紧密封的内圈压紧环(17)。

8.根据权利要求6所述的多分力传感器，其特征在于，所述密封膜片(15)的外圈设置于所述外边凹槽(13)处并与所述外边凹槽(13)之间采用硅胶涂覆密封，和/或所述密封膜片(15)的外圈设置于所述环状密封槽(14)处并与所述环状密封槽(14)之间采用硅胶涂覆密封。

9.根据权利要求6所述的多分力传感器，其特征在于，所述密封膜片(15)采用波纹膜片式结构。

10.根据权利要求5所述的多分力传感器，其特征在于，所述安装底板(9)上开设有安装孔(18)，所述承载平面(8)上设置有用于安装被抛光的工件或者治具的安装螺孔和/或定位销孔。