[发明专利]可调多通道类电磁诱导透明超表面光学材料

权利要求书

1.一种可调多通道类电磁诱导透明超表面光学材料，其特征在于，包括基底以及设置在所述的基底上的多个重复的光学单元；所述的光学单元包括四根金属条、大开口环以及小开口环；所述的大开口环以及小开口环均为正方形且设置有开口；所述的四根金属条组成金属条正方形，且相邻金属条之间保有间隙s；大开口环以及小开口环分别设置在所述的金属条正方形的对角位置且开口呈相反方向设置;且大开口环以及小开口环的开口方向使大开口环的开口与小开口环的开口距离最远；相邻金属条之间的间隔s=5μm，该间隔由光敏硅填充;所述的金属条的长度为L=150μm，宽度为w=5μm；小开口环的边长a1=41-51μm，大开口环的边长a2=50-60μm；大开口环以及小开口环的开口均为正方形，且边长g=5μm；大开口环以及小开口环的中心与金属条正方形的中心距离在x方向和y方向上均是d1=40μm。

2.根据权利要求1所述的可调多通道类电磁诱导透明超表面光学材料，其特征在于，大开口环的边长a2=60μm 小开口环的边长a1=46μm。

3.根据权利要求1所述的可调多通道类电磁诱导透明超表面光学材料，其特征在于，所述基底为聚酰亚胺或者二氧化硅，厚度为50μm。

4.根据权利要求1所述的可调多通道类电磁诱导透明超表面光学材料，其特征在于，所述金属条、大开口环以及小开口环的制备材料为铜、铝、金或者银，厚度为3μm。

5.根据权利要求1所述的可调多通道类电磁诱导透明超表面光学材料，其特征在于，应用于传感器件、慢光器件以及集成光子件。