[发明专利]一种内驱外检式平面线圈解耦微陀螺

权利要求书

1.一种内驱外检式平面线圈解耦微陀螺，其特征在于，包括：下基板(1)，设置在下基板(1)上的键合框体(2)以及设置在键合框体(2)上的上部支撑框(3)，所述上部支撑框(3)内侧的相对两端分别设置有检测质量块(9)，所述检测质量块(9)两侧通过检测组合梁(6)与所述上部支撑框(3)连接，两个所述检测质量块(9)之间设置有驱动质量块(5)，所述驱动质量块(5)位于上部支撑框(3)中心，所述驱动质量块(5)通过驱动组合梁(4)与所述检测质量块(9)连接。

2.根据权利要求1所述的内驱外检式平面线圈解耦微陀螺，其特征在于，所述检测质量块(9)中心布置平面线圈(10)，所述上部支撑框(3)上设置有检测信号输出电极(16)，所述平面线圈(10)的端部分别与一引线(13)连接，所述引线(13)一端与所述平面线圈(10)连接，所述引线(13)另一端通过检测组合梁(6)引至支上部支撑框(3)上并与检测信号输出电极(16)连接。

3.根据权利要求2所述的内驱外检式平面线圈解耦微陀螺，其特征在于，所述平面线圈(10)上设置有用于铺设引线(13)的绝缘层(14)，当引线通过平面线圈(10)时，所述引线(13)铺设在所述绝缘层(14)上。

4.根据权利要求1所述的内驱外检式平面线圈解耦微陀螺，其特征在于，所述上部支撑框(3)上设置有驱动信号输入电极(15)，所述驱动质量块(5)的靠近检测质量块(9)的两侧分别设置有驱动反馈导线(11)和驱动导线(12)，位于所述驱动质量块(5)一侧的驱动反馈导线(11)两端通过驱动组合梁(4)和检测组合梁(6)引至上部支撑框(3)上并与该侧的驱动信号输入电极(15)连接，位于所述驱动质量块(5)另一侧的驱动导线(12)两端通过驱动组合梁(4)和检测组合梁(6)引至上部支撑框(3)上并与该侧的驱动信号输入电极(15)连接。

5.根据权利要求1所述的内驱外检式平面线圈解耦微陀螺，其特征在于，所述键合框体(2)为矩形框。

6.根据权利要求1所述的内驱外检式平面线圈解耦微陀螺，其特征在于，上部支撑框(3)为矩形框。

7.根据权利要求1所述的内驱外检式平面线圈解耦微陀螺，其特征在于，所述下基板(1)上设置有驱动磁体(7)和检测磁体(8)，所述驱动磁体(7)对应所述驱动组合梁(4)的位置设置，所述检测磁体(8)对应所述检测质量块(9)的位置设置。

8.根据权利要求1所述的内驱外检式平面线圈解耦微陀螺，其特征在于，所述驱动组合梁(4)包括驱动悬臂梁(41)和驱动梁连接块(42)，所述驱动梁连接块(42)一端的两侧设置有突出部，整所体呈“T”形，两个所述驱动悬臂梁(41)分别位于驱动梁连接块(42)两侧并且一端与突出部连接，所述驱动悬臂梁(41)另一端与所述驱动质量块(5)连接，所述驱动梁连接块(42)另一端与所述检测质量块(9)连接。

9.根据权利要求1所述的内驱外检式平面线圈解耦微陀螺，其特征在于，所述检测组合梁(6)包括检测悬臂梁(61)和检测梁连接块(62)，所述检测梁连接块(62)一端的两侧设置有突出部，整所体呈“T”形，两个所述检测悬臂梁(61)分别位于检测梁连接块(62)两侧并且一端与突出部连接，所述检测悬臂梁(61)另一端与所述检测质量块(9)连接，所述检测梁连接块(62)另一端与所述上部支撑框(3)连接。