[发明专利]输送载体、蒸镀装置以及电子器件的制造装置

权利要求书

1.一种输送载体，具备能够保持蒸镀对象的基板的载体主体，一边保持所述基板一边在蒸镀装置内进行输送，其特征在于，

所述载体主体具备：

静电吸附构件，所述静电吸附构件利用静电力吸附并保持所述基板；以及

磁吸附构件，所述磁吸附构件配置在所述静电吸附构件的与吸附所述基板的面相反的一侧，在隔着所述基板对掩模进行磁吸附而使所述掩模紧贴于所述基板的成膜面的状态下进行保持，所述掩模遮挡所述基板的非蒸镀区域，

所述磁吸附构件被设置在所述输送载体的外部的驱动源驱动，以便接近所述静电吸附构件或者从所述静电吸附构件离开。

2.如权利要求1所述的输送载体，其特征在于，

所述载体主体具备引导部，所述引导部将所述磁吸附构件支承为相对于所述静电吸附构件能够在离开以及接近的方向上移动。

3.如权利要求1所述的输送载体，其特征在于，

所述磁吸附构件成为具有能够与所述驱动源侧的部件卡合、脱离的连结部的结构。

4.如权利要求1所述的输送载体，其特征在于，

在所述载体主体的与输送方向平行的两侧缘，沿着输送方向呈直线地附设有多个驱动用磁铁，所述驱动用磁铁与设置于在所述蒸镀装置内部配置的输送引导件的驱动用线圈相向。

5.如权利要求4所述的输送载体，其特征在于，

若将所述载体主体的输送方向设为X轴，将在与所述基板的平面平行的面内与所述X轴正交的方向设为Y轴，将与所述X轴以及Y轴正交的方向设为Z轴，则所述驱动用磁铁具备S极和N极的磁极沿着X轴方向交替地配置以便得到向X轴方向的推进力的磁极配置，除此之外，所述驱动用磁铁具备S极和N极的磁极沿Y轴方向配置以便得到向Y轴方向的推进力的磁极配置。

6.如权利要求1所述的输送载体，其特征在于，

在所述载体主体的两侧端面设置有供设置于输送引导件的导辊安装的引导槽，引导槽以夹着导辊的滚动面的方式具备一对平行的引导面，所述引导面之间的间隔设定为比所述导辊的直径大，在所述引导面与所述导辊之间设置有间隙。

7.如权利要求1～6中任一项所述的输送载体，其特征在于，

所述载体主体除具备所述磁吸附构件之外还具备掩模保持构件，所述掩模保持构件与所述掩模的周缘部卡合而保持掩模。

8.如权利要求7所述的输送载体，其特征在于，

在所述掩模的周缘设置有掩模框架，所述掩模保持构件保持所述掩模框架。

9.如权利要求7所述的输送载体，其特征在于，

所述掩模保持构件成为如下结构：具有能够通过驱动源侧的部件卡合、脱离的连结部，利用来自外部的驱动力进行移动。

10.如权利要求1所述的输送载体，其特征在于，

在所述载体主体搭载有被气密地密闭的控制箱，所述控制箱对所述静电吸附构件进行控制，该控制箱具备：受电用线圈，所述受电用线圈在其与配置在装置外部的供电用线圈之间以非接触的方式被供电；二次电池，所述二次电池利用由该受电用线圈接收到的电力进行充电；以及高压电源，所述高压电源通过对该二次电池的输出电压进行变压而生成。

11.如权利要求10所述的输送载体，其特征在于，

所述控制箱具备与装置外部的控制装置进行通信的通信单元。