[发明专利]蒸镀装置、电子器件的制造装置以及蒸镀方法

说明书

本发明涉及蒸镀装置、电子器件的制造装置以及蒸镀方法。在直列式的蒸镀装置中在清洁的环境下输送基板。蒸镀装置具备：输送机构，其包括保持并输送基板的输送载体以及构成供输送载体移动的输送路径的输送模块；对准室，向对准室送入被输送载体保持的基板，将掩模定位并固定于被送入到对准室的基板；蒸镀室，从对准室向蒸镀室送入被输送载体保持的基板，在被送入到蒸镀室的基板上蒸镀蒸镀材料；以及控制构件，控制构件通过对多个线圈施加电流或电压，从而控制在沿着基板的输送方向在输送载体上排列的多个磁铁和在输送模块上以与多个磁铁相向的方式排列的多个线圈之间产生的磁力，在输送载体与输送模块不接触的模式和两者接触的模式之间切换输送模式。

技术领域

本发明涉及蒸镀装置、电子器件的制造装置以及蒸镀方法。

背景技术

以往，使用在玻璃基板等成膜对象物上对蒸镀材料进行蒸镀而成膜的蒸镀装置，例如在有机EL面板的制造时对有机层进行蒸镀的有机层蒸镀装置是已知。在该蒸镀装置中存在所谓群组(cluster)式的蒸镀装置和直列(in-line)式的蒸镀装置。在群组式的蒸镀装置中，在玻璃基板上进行成膜的蒸镀室呈多个群组状配置，通过将玻璃基板依次输送到各蒸镀室进行蒸镀，从而蒸镀多层的膜。另一方面，在直列式的蒸镀装置中，成膜用的玻璃基板一边呈线状地被输送一边在蒸镀室中进行成膜。在直列式中，也可以在行方向上具有多个蒸镀室。

在专利文献1中记载有直列式的有机层蒸镀装置。专利文献1的装置具有第一循环部，该第一循环部在行方向上由送入玻璃基板的装载部、在玻璃基板上蒸镀膜的蒸镀部、以及送出玻璃基板的卸载部构成。装置还具有第二循环部，该第二循环部回收具备输送基板的静电吸盘的输送载体。

在蒸镀处理时，首先将玻璃基板从装置外部送入第一循环部的装载部的第一支架。被送入的玻璃基板通过机械手载置在配置于第二循环部的输送载体的上表面。输送载体吸附保持玻璃基板。接着，基板连同输送载体一起利用第一翻转机械手翻转，并被输送到蒸镀部。通过该翻转，玻璃基板配置在输送载体的下表面。在蒸镀部中，通过配置在基板的下部的蒸镀源，经由固定配置于蒸镀部的掩模，一边输送基板一边进行蒸镀。

在蒸镀完成后，被输送到卸载室的、保持着玻璃基板的输送载体通过第二翻转机械手再次翻转。在翻转后，保持着玻璃基板的输送载体通过送出机械手送出到第二循环部。移动到第二循环部的输送载体解除玻璃基板的保持。接着，通过送出机械手仅将玻璃基板输送到排出室，并送出到装置外部。解除了玻璃基板的保持的输送载体在第二循环部被输送而回到与第一循环部的装载部对应的位置，用于保持新的玻璃基板。需要说明的是，在蒸镀部处的基板的输送中使用侧面磁悬浮轴承。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2013-016491号公报

发明要解决的课题

但是，在专利文献1中，在基板的输送中，除了侧面磁悬浮轴承以外，还使用多个机械手。因此，在基板输送时产生的垃圾、尘埃附着于基板表面的可能性高，难以在清洁的环境下进行基板输送。另外，由于利用机械手使基板在平面方向上回旋，因此基板的输送方向变得复杂，这也成为垃圾、尘埃附着于基板的主要原因。

发明内容

本发明是鉴于上述课题而作出的，其目的在于提供一种在直列式的蒸镀装置中在清洁的环境下输送基板的技术。

用于解决课题的方案

本发明采用以下的结构。即，

一种蒸镀装置，具备：

输送机构，所述输送机构包括：保持并输送基板的输送载体、以及构成供所述输送载体移动的输送路径的输送模块；

对准室，向所述对准室送入被所述输送载体保持的所述基板，将掩模定位并固定于被送入到所述对准室的所述基板；