[发明专利]Angel型龙虾眼X射线聚焦光学器件及其制备、检测方法

权利要求书

1.一种Angel型龙虾眼X射线聚焦光学器件的制备方法，其特征在于，包括：

(1)选择方形芯料棒和皮料管并进行拉制，形成方形复丝，其中：一次拉制形成方形单丝，二次拉制形成方形复丝；

(2)将复丝排屏后形成复丝屏段，再将复丝屏段进行高温熔压成型，形成方形屏段，再经过冷加工将其切片；

(3)腐蚀掉通道内部芯料得到中间产品平面型微孔光学器件；

(4)通过球面成型处理，使得平面型微孔光学器件的通道指向球心；

(5)在通道的方孔内壁原子沉积金属反射膜，并在球面表面镀制遮光膜。

2.根据权利要求1所述的Angel型龙虾眼X射线聚焦光学器件的制备方法，其特征在于，所述皮料管材料的软化点为500℃～600℃，方形芯料棒材料的软化点为600℃～700℃。。

3.根据权利要求1所述的Angel型龙虾眼X射线聚焦光学器件的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中，方形单丝的拉制温度玻璃的粘度值10⁷dPas～10⁸dPas，单丝尺寸为1mm～2mm；所述复丝拉制温度在玻璃粘度值10¹⁰dPas～10¹¹dPas，复丝尺寸为0.5mm～1mm。

4.根据权利要求1所述的Angel型龙虾眼X射线聚焦光学器件的制备方法，其特征在于，所述步骤(2)中，复丝屏段的外型为方形，尺寸为40mm～60mm。

5.根据权利要求1所述的Angel型龙虾眼X射线聚焦光学器件的制备方法，其特征在于，所述高温熔压成型过程的熔压最高温度点为600℃～700℃，屏段的压缩比例为1％～2％。

6.根据权利要求1所述的Angel型龙虾眼X射线聚焦光学器件的制备方法，其特征在于，所述步骤(3)的腐蚀过程中，利用硝酸腐蚀掉芯料留下皮料，硝酸的溶度为10％～30％，腐蚀后的方孔内壁粗糙度小于1nm。

7.根据权利要求1-6中任意一项所述的Angel型龙虾眼X射线聚焦光学器件的制备方法，其特征在于，所述步骤(3)的平面型微孔光学器件呈现平板状，方孔尺寸为10μm～100μm，壁厚为1μm～30μm，板厚度为1mm～100mm；其内部包括若干根相同的单通道，所述单通道的截面为正方形，所述单通道排布角度一致，所述单通道指向平板平面的垂直方向。

8.根据权利要求7所述的Angel型龙虾眼X射线聚焦光学器件的制备方法，其特征在于，所述步骤(4)的球面成型处理，包括：

平面型微孔光学器件经过热弯处理形成为一个球面蜂窝结构，曲率半径为100mm～1000mm；厚度为1mm～100mm；其内部包括若干根相同的单通道，所述单通道的截面为正方形，所述每个单通道均匀分布，垂直于龙虾眼光学镜片表面方向且通道排布指向球心。

9.根据权利要求1或8所述的Angel型龙虾眼X射线聚焦光学器件的制备方法，其特征在于，所述金属反射膜为重金属材料反射膜，厚度一般为10nm～50nm。

10.根据权利要求10所述的Angel型龙虾眼X射线聚焦光学器件的制备方法，其特征在于，所述金属反射膜的重金属材料选择Ir、Ni和Pt中的至少一种。

11.根据权利要求1或8所述的Angel型龙虾眼X射线聚焦光学器件的制备方法，其特征在于，所述遮光膜为Al膜，厚度为1μm～2μm。

12.一种根据权利要求1-11中任意一项所述的方法制备得到的Angel型龙虾眼X射线聚焦光学器件。

13.一种对所述权利要求12所述的Angel型龙虾眼X射线聚焦光学器件的检测方法，其特征在于，包括：

对Angel型龙虾眼X射线聚焦光学器件采用X射线平行光进行入射，

入射的X射线平行光经过球面的蜂窝结构将聚焦在曲率半径一半的位置处，形成一个的焦斑面积最小、聚焦光强最强的十字线焦斑，通过对十字线进行检测，进而实现对Angel型龙虾眼X射线聚焦光学器件的测试；

其中，选择2次聚焦十字线焦斑，通过重心法确定重心位置：

其中，x,y为重心的坐标位置，x_i,y_i为不同位置坐标，ρ_ij为矩阵(i，j)处的光强，n为数据矩阵的大小；

依据中心位置做光斑强度分布的等高线图，以得到0.5等高线对应的直径大小及其对应的角分辨率。