[发明专利]玻璃基板的保持用膜体和玻璃基板的研磨方法

说明书

本发明涉及玻璃基板的保持用膜体和玻璃基板的研磨方法。本发明提供一种玻璃基板的保持用膜体，该玻璃基板的保持用膜体的寿命长并且能够得到平坦度高的玻璃基板。一种玻璃基板的保持用膜体，其具备第一构件和第二构件，所述第一构件具有：在第一表面上吸附并保持玻璃基板的第一自吸附型片、设置在第一自吸附型片的第二表面上的第一粘合层、第一片状基材和第二粘合层；所述第二构件具有：在第一表面上吸附并保持玻璃基板的第二自吸附型片、设置在第二自吸附型片的第二表面上的第三粘合层、第二片状基材和第四粘合层；并且第一自吸附型片的第一表面与第二自吸附型片的第一表面连接。

技术领域

本发明涉及玻璃基板的保持用膜体和玻璃基板的研磨方法。

背景技术

对于应用于液晶显示器用途的玻璃基板而言，当表面的平滑度低时，所显示的图像会产生畸变，因此，在玻璃基板的制造工序中，需要利用研磨装置除去表面的微小的凹凸或起伏。作为这样的研磨装置，已知如下研磨装置：将保持在研磨头上的玻璃基板按压在粘贴于研磨平台的研磨垫上，并且通过使研磨平台和研磨头相对旋转而对玻璃基板进行研磨。在这样的研磨装置中，通过使玻璃基板吸附并保持在安装于研磨头上的自吸附型保持用膜体上，从而将玻璃基板安装于研磨头上(参见专利文献1)。

该保持用膜体由用于吸附并保持玻璃基板的自吸附型片和双面胶粘片构成。

作为自吸附型片，例如使用专利文献2中记载的聚氨酯片等多孔片。当使多孔的自吸附型片的表面包含水等液体并使该表面与玻璃基板紧贴时，利用进入到表面的孔中的液体的表面张力，将玻璃基板吸附在自吸附型片上。

将保持用膜体的双面胶粘片的与自吸附型片相反侧的表面粘贴到背板上，并与背板一起安装到研磨头上。

为了使玻璃基板的表面平滑，需要以均等的力将玻璃基板的整个表面按压在研磨垫上并进行研磨，因此，要求保持用膜体的尺寸大于玻璃基板的尺寸。而且，随着近年来液晶显示器用玻璃基板的大型化，对保持用膜体也要求大型化。

但是，难以制造尺寸比被称为G11的尺寸(2940mm×3370mm)的玻璃基板大的自吸附型片。因此，在进行G11尺寸的玻璃基板的研磨时，需要使用尺寸小于玻璃基板的自吸附型片来构成保持用膜体。作为这样的保持用膜体的结构，可以列举以下结构。

作为第一结构，可以列举如图1所示在背板1的表面方向上安装多个小尺寸的保持用膜体2的结构。

作为第二结构，可以列举如图2所示将小尺寸的保持用膜体2拉长并安装到背板1上的结构。

现有技术文献

专利文献

[专利文献1]国际公开第2011/122454号

[专利文献2]日本特开2007-7824号公报

发明内容

发明所要解决的问题

然而，对于上述第一结构而言，难以没有间隙地将多个自吸附型片安装在背板上，因此在自吸附型片彼此之间产生间隙。

当产生这样的间隙时，在研磨时将玻璃基板按压在研磨平台上的力会产生不均衡，玻璃基板的研磨后的平滑度变差。另外，研磨剂(氧化铈等)的浆料容易渗入并固定在这样的间隙中，当发生这样的固定时，有可能玻璃基板的吸附力降低并且对玻璃基板造成损伤，因此需要更换保持用膜体。

可见，对于上述第一结构而言，存在如下问题：玻璃基板的研磨后的平滑度变差，并且需要频繁地更换保持用膜体(保持用膜体的寿命短)。

另外，对于第二结构而言，由于将自吸附型片拉长后使用，因此表面的孔的孔径增大。然而，当该孔径大时，研磨剂的浆料容易渗入并固定在孔中。因此，对于第二结构而言，也存在保持用膜体的寿命短的问题。