[发明专利]三维形状计测方法和三维形状计测装置

权利要求书

1.一种三维形状计测方法，对测定对象物照射测定介质而根据干涉信号计测三维形状，其特征在于，

在根据对基于所述干涉信号的干涉条纹进行拍摄的摄像元件的焦点位置与所述干涉条纹的出现位置之间的距离的差来进行位置调整时，使所述摄像元件的位置移动而进行位置调整，以使所述距离的差为规定的值以下。

2.根据权利要求1所述的三维形状计测方法，其中，

针对所配置的多个干涉物镜中的每个干涉物镜，将所述摄像元件的位置的移动量存储为各自的校正值，在下次之后的测定中，根据与要使用的所述干涉物镜对应的所述校正值来进行校正。

3.根据权利要求1或2所述的三维形状计测方法，其中，

进行与所述摄像元件的移动对应的横倍率校正。

4.一种三维形状计测装置，该三维形状计测装置具有：光源，其产生恒定的波长的光；分束器，其对该光进行分割而使该光反射或透过；干涉物镜，其使被该分束器反射后的所述光沿光轴的方向进行聚光而照射在测定对象物上，并且使从该测定对象物反射的测定光和从将要聚光到该测定对象物的该光分支而得到的参照光发生干涉；以及摄像元件，其检测由该干涉物镜产生的干涉信号并进行拍摄，该三维形状计测装置的特征在于，

该三维形状计测装置还具有摄像元件的位置调整机构，该位置调整机构在进行所述测定光与所述参照光的光学距离的调整时，使所述摄像元件沿z轴方向移动。

5.根据权利要求4所述的三维形状计测装置，其中，

该三维形状计测装置包含取得由所述摄像元件检测出的干涉信号并对该干涉信号进行储存和处理的数据处理部，该数据处理部具有位置调整距离的存储部，该存储部存储或调用通过所述位置调整机构使所述摄像元件移动后的位置调整距离，作为与所述干涉物镜对应的校正值。

6.根据权利要求4或5所述的三维形状计测装置，其中，

所述数据处理部具有横倍率校正部，该横倍率校正部在所述位置调整机构进行动作时对检测信号补偿横倍率的变化。