[发明专利]微通道板通道内抛光方法

权利要求书

1.一种微通道板通道内抛光方法，其特征在于：采用已经制造好的微孔阵列玻璃坯件进行如下步骤：

①将微孔阵列玻璃坯件置于硝酸氢氟酸混合液中，在超声波中振动10~20分钟；

②更换新的硝酸氢氟酸混合液，并在磁力搅拌器中搅拌20~40分钟；

③从硝酸氢氟酸混合液取出微孔阵列玻璃坯件，然后将微孔阵列玻璃坯件置于纯水中清洗换水8~15次；

④清洗后将微孔阵列玻璃坯件置于氢氟酸与硫酸的混合液中，并在磁力搅拌器中搅拌20~40分钟；

⑤从氢氟酸与硫酸的混合液取出微孔阵列玻璃坯件，然后将微孔阵列玻璃坯件置于纯水中清洗换水8~15次；

⑥清洗后将微孔阵列玻璃坯件置于氢氟酸、硫酸及氟化铵的混合液中，并在磁力搅拌器中搅拌20~40分钟；

⑦从氢氟酸、硫酸及氟化铵的混合液取出微孔阵列玻璃坯件，然后将微孔阵列玻璃坯件置于纯水中清洗换水8~15次；

⑧更换乙醇溶液，将微孔阵列玻璃坯件置于其中清洗8~15分钟，且每5分钟更换一次新的乙醇溶液；

⑨清洗时间到后，立刻将微孔阵列玻璃坯件放入真空烘箱中，抽空后烘烤一小时。

2.根据权利要求1所述的一种微通道板通道内抛光方法，其特征在于：步骤①中，超声波振动时间为15分钟。

3.根据权利要求1所述的一种微通道板通道内抛光方法，其特征在于：步骤②、步骤④及步骤⑥中，磁力搅拌器搅拌的时间均为30分钟。

4.根据权利要求1所述的一种微通道板通道内抛光方法，其特征在于：步骤③、步骤⑤及步骤⑦中，纯水中清洗换水的次数均为10次。

5.根据权利要求1所述的一种微通道板通道内抛光方法，其特征在于：步骤⑧中，乙醇溶液清洗的时间为10分钟。