[发明专利]复合过滤器以及具备该复合过滤器的化学机械研磨装置

权利要求书

1.一种复合过滤器，其用于过滤化学机械研磨浆料，其特征在于，所述复合过滤器包括：

内层过滤器，其包括第一外侧面及第一内侧面；以及

外层过滤器，其为中空圆柱状并包括第二内侧面，所述外层过滤器用于收容所述内层过滤器，所述第二内侧面与所述内层过滤器的所述第一外侧面的至少一部分接触，

沿着所述内层过滤器的周向方向，在所述第一外侧面上沿靠近轴心的方向凹设有多个外侧凹部和/或在所述第一内侧面上沿远离轴心的方向凹设有多个内侧凹部，

所述内层过滤器的材料选自尼龙、聚丙烯、玻璃纤维、聚酯、棉花、聚酰胺、聚四氟乙烯、氟聚合物中的至少一种。

2.根据权利要求1所述的复合过滤器，其特征在于，

所述多个外侧凹部、所述多个内侧凹部在轴向方向上贯穿所述内层过滤器。

3.根据权利要求1或2所述的复合过滤器，其特征在于，

当所述内层过滤器均具有所述多个外侧凹部和所述多个内侧凹部时，

所述多个外侧凹部与所述多个内侧凹部的数量相同并错开设置。

4.根据权利要求1或2所述的复合过滤器，其特征在于，

所述第一内侧面的直径范围为140mm～180mm。

5.根据权利要求1或2所述的复合过滤器，其特征在于，

所述第一外侧面与所述第一内侧面之间的最大厚度范围为30mm～40mm。

6.根据权利要求1或2所述的复合过滤器，其特征在于，

所述外层过滤器还具有第二外侧面，所述第二外侧面的直径范围为150mm～400mm，

所述外层过滤器的厚度范围为10mm～20mm。

7.根据权利要求1或2所述的复合过滤器，其特征在于，

所述外层过滤器和所述内层过滤器的高度相同，高度范围为10.16cm～76.2cm。

8.根据权利要求1或2所述的复合过滤器，其特征在于，

所述多个外侧凹部和所述多个内侧凹部的数量范围为5～100个。

9.根据权利要求1所述的复合过滤器，其特征在于，

所述外层过滤器的材料选自聚烯烃纤维、纤维素衍生物、聚酰胺、聚酯、玻璃纤维、聚四氟乙烯、氟聚合物中的至少一种。

10.一种化学机械研磨装置，其特征在于，所述化学机械研磨装置包括：

权利要求1至8中任一项所述的复合过滤器。