[发明专利]钙钛矿薄膜制备装置

权利要求书

1.一种钙钛矿薄膜制备装置，其特征在于：包括钙钛矿涂膜调整装置、反溶剂涂膜调整装置和衬底传输机构，钙钛矿涂膜调整装置和反溶剂涂膜调整装置均设于衬底传输机构上方，所述钙钛矿涂膜调整装置包括第一调整车(101)、第一流量控制阀(105)和钙钛矿涂膜元件(1)，且钙钛矿涂膜元件(1)可升降地设于所述第一调整车(101)下侧并通过所述第一流量控制阀(105)控制流量，所述反溶剂涂膜调整装置包括第二调整车(201)、第二流量控制阀(205)和反溶剂涂膜元件(2)，且反溶剂涂膜元件(2)可升降地设于第二调整车(201)下方并通过所述第二流量控制阀(205)控制流量，所述第一调整车(101)和第二调整车(201)均沿着轨道(9)行走。

2.根据权利要求1所述的钙钛矿薄膜制备装置，其特征在于：所述第一调整车(101)内设有第一电机(102)，所述第二调整车(201)内设有第二电机(202)，所述第一电机(102)和第二电机(202)的输出轴上均设有齿轮，在所述轨道(9)侧壁上设有齿条，且所述齿轮均与所述齿条啮合。

3.根据权利要求1所述的钙钛矿薄膜制备装置，其特征在于：所述第一调整车(101)内设有第一升降装置(103)，所述钙钛矿涂膜元件(1)通过所述第一升降装置(103)驱动升降，所述第二调整车(201)内设有第二升降装置(203)，所述反溶剂涂膜元件(2)通过所述第二升降装置(203)驱动升降。

4.根据权利要求1所述的钙钛矿薄膜制备装置，其特征在于：所述钙钛矿涂膜元件(1)通过第一管路(104)与钙钛矿液储罐相连，且所述第一流量控制阀(105)设于所述第一管路(104)上，所述反溶剂涂膜元件(2)通过第二管路(204)与反溶剂储罐相连，且所述第二流量控制阀(205)设于所述第二管路(204)上。

5.根据权利要求1所述的钙钛矿薄膜制备装置，其特征在于：衬底先经过钙钛矿涂膜元件涂布一层钙钛矿湿膜，且在钙钛矿湿膜未干时经过反溶剂涂膜元件。