[发明专利]一种开阔式下沉气浮平台架空地板悬挑减振系统

说明书

本发明提供了一种开阔式下沉气浮平台架空地板悬挑减振系统，包括：隔振平台(2)，为上部设备(1)提供支撑平面；多个空气弹簧隔振器(3)，设置在隔振平台(2)下方；架空地板(4)，与隔振平台(2)侧面留置隔振缝，与气浮平台隔振基础顶面留置间隙，与气浮平台隔离且相互独立；支撑主钢梁(5)，为悬挑型型钢构件，用于支撑支撑次钢梁(6)和架空地板(4)，其一段锚入混凝土地坪(7)，使得架空地板(4)形成的支撑结构完全与气浮隔振平台隔离；支撑次钢梁(6)，为钢构件，与架空地板(4)连接并用于支撑架空地板(4)；及混凝土地坪(7)，由隔振平台(2)周边的室内外地坪构成，作为支撑主钢梁(5)的锚固段。

技术领域

本发明涉及并应用于工程振动及减振技术领域，特别是一种开阔式下沉气浮平台架空地板悬挑减振系统。

背景技术

目前，传统开阔式下沉气浮平台架空地板的支撑结构均直接布置在气浮平台基础上部，这样的结构存在如下缺陷：

1、气浮隔振系统隔振效果受外界振动干扰严重。传统方案架空地板支撑结构直接设置在气浮平台基础上，架空地板上部外界振动直接通过架空地板支撑构件传递至隔振基础顶面，外界干扰振动的传递路径短，严重影响了气浮隔振系统的隔振性能，影响了隔振系统的使用性能。

2、有严格的施工顺序，施工周期长。传统方案隔振平台和架空地板施工存在工作界面搭接和交叉，需严格按照先建气浮平台再建架空地板的顺序进行施工，不能同步进行施工，增加了施工难度、延长了施工周期、也增加了建造成本。

发明内容

本发明针对现有技术的缺陷，提供一种开阔式下沉气浮平台架空地板悬挑减振xito能够，其发明构思在于开阔式场地中采用下沉方案布置的气浮平台，场地与气浮平台间隙位置需铺设架空地板，基于钢筋混凝土结构设计和施工理论、钢结构设计和施工理论、隔振设计技术以及施工技术，采取悬挑形式铺设架空地板，支撑结构体系与气浮平台基础隔开，通过增加传递路径的方式，在满足使用条件的同时，具有良好的减振效果，有效减少了架空地板上部外界振动对气浮平台上精密设备的振动影响，且该方案利于施工，气浮平台与架空地板间的施工顺序不会产生影响，降低了施工难度，缩短了施工周期，同时能够保证后期维护简单易行。

系统的提出针对气浮工作台，超精密气浮工作台系统是当前精密半导体制造设备等的核心子系统，要求具有纳米级的重复定位精度和同步运动精度。由于气浮轴承设计的原因等会导致系统发生振幅为纳米级的振幅振动，进而影响系统精度，微振动并非传统意义上的气浮轴承所发生的“气锤”现象，轴承本身在发生微振动时处于正常工作状态。微振动发生时其振幅通常在几纳米到几十纳米，频率从几十赫兹到几千赫兹。这种震动的一个显著特征是只有给气浮轴承通气时才出现，是一种流体引发的振动，这种振动对于一个精度要求达到纳米级的运动定位系统是有害的。首先这种振动沿运动方向的分量直接影响定位精度，其次如果这种振动的频率落在控制带宽之内，由于属于一种闭环之外的扰动，控制系统对其抑制作用很小，且系统一旦加上使能，这种振动将会被放大，从而大大降低系统的控制精度。

本发明的目的在于提供一种开阔式下沉气浮平台架空地板悬挑减振系统，包括：

隔振平台(2)：所述隔振平台(2)为其上部放置的上部设备(1)提供支撑平面，所述上部设备(1)为对微振动具有要求的精密实验设备；

多个空气弹簧隔振器(3)，设置在所述隔振平台(2)下方，包括密封的容器，使用时在所述密封的容器中充入压缩空气，利用气体可压缩性实现其弹性作用的装置；

架空地板(4)：所述架空地板(4)平行于所述隔振平台(2)设置，与所述隔振平台(2)侧面留置隔振缝，同时与所述气浮平台的隔振基础顶面留置间隙，所述架空地板(4)与气浮平台隔离且相互独立；