[发明专利]一种薄膜压电声波谐振器及其制造方法

权利要求书

1.一种薄膜压电声波谐振器，其特征在于，包括：

压电感应振荡片体，所述压电感应振荡片体包含相对的第一表面和第二表面；

置于所述压电感应振荡片体第一表面上的第一组叉指式换能器和第二组叉指式换能器，所述第一组叉指式换能器至少包括一个第一导电叉指，所述第二组叉指式换能器至少包括一个第二导电叉指；

第一间隙，位于所述压电感应振荡片体第一表面与所述第一导电叉指之间和/或，

第二间隙，位于所述压电感应振荡片体第一表面与所述第二导电叉指之间。

2.如权利要求1所述的薄膜压电声波谐振器，其特征在于，所述第一导电叉指和所述第二导电叉指互相平行。

3.如权利要求1所述的薄膜压电声波谐振器，其特征在于，所述第一间隙或所述第二间隙的高度为1纳米至10微米。

4.如权利要求1所述的薄膜压电声波谐振器，其特征在于，每个所述第一导电叉指与所述压电感应振荡片体第一表面之间均设有所述第一间隙和/或，

每个所述第二导电叉指与所述压电感应振荡片体第一表面之间均设有所述第二间隙。

5.如权利要求1所述的薄膜压电声波谐振器，其特征在于，相邻的所述第一间隙和所述第二间隙相互连通。

6.如权利要求1所述的薄膜压电声波谐振器，其特征在于，所述第一间隙和/或所述第二间隙与外部空气相通。

7.如权利要求1所述的薄膜压电声波谐振器，其特征在于，所述第一间隙或所述第二间隙为封闭的空间。

8.如权利要求1所述的薄膜压电声波谐振器，其特征在于，所述封闭的空间中填充有第一气体。

9.如权利要求1所述的薄膜压电声波谐振器，其特征在于，所述第一气体包括氮气、惰性气体或空气。

10.如权利要求1所述的薄膜压电声波谐振器，其特征在于，所述压电感应振荡片体和所述第一导电叉指之间设有第一柱体，所述第一柱体位于所述第一间隙中和/或，

所述压电感应振荡片体和所述第二导电叉指之间设有第二柱体，所述第二柱体位于所述第二间隙中。

11.如权利要求1所述的薄膜压电声波谐振器，其特征在于，所述第一柱体或所述第二柱体的材料包括：介电质、金属或压电材料。

12.如权利要求1所述的薄膜压电声波谐振器，其特征在于，所述压电感应振荡片体的第二表面设有第一基板。

13.如权利要求12所述的薄膜压电声波谐振器，其特征在于，所述第一基板内设有第一空腔，所述第一组叉指式换能器和第二组叉指式换能器位于所述第一空腔围成的区域上方。

14.如权利要求12所述的薄膜压电声波谐振器，其特征在于，所述第一基板内设有布拉格声波反射层，所述第一组叉指式换能器和第二组叉指式换能器位于所述布拉格声波反射层围成的区域上方。

15.如权利要求12所述的薄膜压电声波谐振器，其特征在于，所述压电感应振荡片体内包括相对设置的两个沟槽，所述沟槽的长度方向为所述第一导电叉指或第二导电叉指的长度方向，两个所述沟槽的相对内壁与所述第一导电叉指或所述第二导电叉指平行，所述两个沟槽分别位于最外端的两个所述第一导电叉指或所述第二导电叉指的外侧。

16.如权利要求15所述的薄膜压电声波谐振器，其特征在于，所述第一导电叉指或所述第二导电叉指位于所述沟槽的两个端部之间。

17.如权利要求15所述的薄膜压电声波谐振器，其特征在于，所述沟槽的深度小于所述压电感应振荡片体的厚度或所述沟槽贯穿所述压电感应振荡片体。