[发明专利]缺陷检测装置及缺陷检测方法

权利要求书

1.一种缺陷检测装置，其特征在于，具备：

照明部，向测定对象照射照明光；

拍摄部，对由所述测定对象反射后的所述照明光进行拍摄；以及

检测部，基于由所述拍摄部拍摄所述照明光而获得的拍摄图像对所述测定对象的表面的缺陷进行检测，

所述拍摄图像包括分光波长分别不同的多个分光图像，

所述检测部基于多个所述分光图像对所述照明光被扩散反射的扩散反射区域进行检测，并基于检测到所述扩散反射区域的所述分光图像的所述分光波长来判定缺陷尺寸。

2.根据权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，

所述照明部向所述测定对象照射包括多个所述分光波长的光成分的所述照明光，

所述拍摄部包括：使预定波长的光透射并且能够变更透射的光的波长的分光元件；以及接收透射所述分光元件后的光的拍摄元件，所述拍摄部通过将透射所述分光元件的光的波长切换为多个所述分光波长，对与多个所述分光波长对应的多个所述分光图像进行拍摄。

3.根据权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，

所述照明部将所述照明光的波长切换为多个所述分光波长而向所述测定对象照射，

每当从所述照明部照射的所述照明光的波长被切换时，所述拍摄部对由所述测定对象反射后的所述照明光进行拍摄，并对与多个所述分光波长对应的多个所述分光图像进行拍摄。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的缺陷检测装置，其特征在于，

所述检测部通过对各所述分光图像实施边缘检测处理，对所述扩散反射区域进行检测，并生成合成图像，所述合成图像是使多个所述分光图像叠加并根据所述缺陷尺寸使所述扩散反射区域的显示方式不同的合成图像。

5.根据权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，

所述拍摄部配置于与由所述测定对象将来自所述照明部的所述照明光规则反射的规则反射方向分离的位置。

6.根据权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，

所述照明部是形成为环状的环形照明。

7.根据权利要求1所述的缺陷检测装置，其特征在于，

所述照明部是对所述测定对象照射扩散光的扩散照明。

8.一种缺陷检测方法，其特征在于，实施：

照明步骤，对测定对象照射照明光；

拍摄步骤，对由所述测定对象反射后的所述照明光进行拍摄；以及

检测步骤，基于拍摄图像对所述测定对象的表面的缺陷进行检测，

在所述拍摄步骤中，对包括分光波长分别不同的多个分光图像的所述拍摄图像进行拍摄，

在所述检测步骤中，基于多个所述分光图像对所述照明光被扩散反射的扩散反射区域进行检测，并基于检测到所述扩散反射区域的所述分光图像的所述分光波长来判定缺陷尺寸。