[发明专利]一种甲醛气体传感器敏感材料的合成方法在审

专利信息
申请号: 201911284155.1 申请日: 2019-12-13
公开(公告)号: CN111116232A 公开(公告)日: 2020-05-08
发明(设计)人: 井华;谷文;陈红林;张珽 申请(专利权)人: 苏州麦茂思传感技术有限公司
主分类号: C04B41/87 分类号: C04B41/87;C01G19/02;G01N27/12
代理公司: 北京同恒源知识产权代理有限公司 11275 代理人: 阴知见
地址: 215000 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 甲醛 气体 传感器 敏感 材料 合成 方法
【权利要求书】:

1.一种甲醛气体传感器敏感材料的合成方法,其特征在于,包括如下步骤:

步骤1:在印有叉齿电极的陶瓷片上印刷金属锡层,并对印刷好的金属锡层进行退火处理,得到氧化锡薄层;

步骤2:对陶瓷片进行超声,并用去离子水和乙醇进行多次清洗后、烘干,使得氧化锡薄层的表面微观结构为凹凸不平的氧化锡颗粒,可作为氧化锡纳米线生长的种子层;

步骤3:将陶瓷片置于反应釜中进行水热反应1-36h,生长出锡氧化物前驱体,该锡氧化物前驱体的形貌为阵列排布纳米线的形貌;

步骤4:将生长出的锡氧化物前驱体(陶瓷片)浸入新鲜的第一溶液中,后用大量蒸馏水冲洗,再置于空气中自然干燥,得到纳米线阵列;其中,所述第一溶液包括过氧化氢H2O2(30wt%)和一水合氨NH3·H2O(25wt%),H2O2和NH3·H2O的体积比为1-10:10-1;

步骤5:将纳米线阵列在富氧环境中恒温退火0.1-5h,该恒温温度为200-800℃,得到金红石型二氧化锡纳米SnO2NW;

步骤6:将金红石型二氧化锡纳米SnO2NW冷却至室温。

2.根据权利要求1所述的一种甲醛气体传感器敏感材料的合成方法,其特征在于,步骤1的具体操作如下:

A、准备一片已经印有叉齿电极的陶瓷片,清洗备用;

B、称取粒径为10-100微米的锡粉,然后加入锡粉质量1-3倍的松油醇、0.01-0.5倍的司盘85(山梨坦三油酸酯)和0.01-0.2倍的乙基纤维素,充分混匀,得到金属锡的印刷浆料;

C、在印刷机上以印刷间隙为0.1-50微米、压力为5-200Pa的指标,对陶瓷片表面进行丝网印刷,以得到1-10微米厚度的金属锡层;

D、将印刷好的陶瓷片在120-800℃的温度下恒温退火0.5-5h,可以挥发掉有机物,得到具有一定图案的氧化锡薄层。

3.根据权利要求1或2所述的一种甲醛气体传感器敏感材料的合成方法,其特征在于,在步骤3中:所述反应釜的内衬材质为聚四氟乙烯;所述反应釜中的混合溶液包括水、2-丁酮、乙醇、盐酸(浓度为37%)和锡酸四丁酯(Sn(OBun)4),所述水占混合溶液的0-50%,所述2-丁酮占混合溶液的5-20%,所述乙醇占混合溶液的0-10%,所述盐酸占混合溶液的20-80%,所述锡酸四丁酯占混合溶液的1-11%;所述反应釜中的混合溶液恒温控制,该恒温温度为120-300℃。

4.根据权利要求1所述的一种甲醛气体传感器敏感材料的合成方法,其特征在于,在步骤5中:所述富氧环境的氧气流量为0.5-1.0Lmin-1

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