[发明专利]倒装陶瓷外壳焊盘的制作方法及倒装陶瓷外壳的制作方法在审
申请号: | 201911284212.6 | 申请日: | 2019-12-13 |
公开(公告)号: | CN111136572A | 公开(公告)日: | 2020-05-12 |
发明(设计)人: | 李航舟;彭博;张崤君;刘冰倩;刘洋 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
主分类号: | B24B37/04 | 分类号: | B24B37/04;B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34;H01L21/48;H01L21/60 |
代理公司: | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人: | 田甜 |
地址: | 050051 *** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 倒装 陶瓷 外壳 制作方法 | ||
1.倒装陶瓷外壳焊盘的制作方法,其特征在于,对经烧结后的陶瓷外壳焊盘进行研磨处理,包括:
将多个厚度一致的所述陶瓷外壳焊盘的研磨面朝上,排布并粘接固定在研磨夹具上;
将所述研磨夹具倒扣在研磨盘上,启动压力研磨机上的压盘,将所述研磨夹具压在所述研磨盘上;
启动研磨盘转动,带动所述研磨夹具同时进行公转和自转,利用研磨液,对所述研磨夹具上固定的陶瓷外壳焊盘进行研磨。
2.如权利要求1所述的倒装陶瓷外壳焊盘的制作方法,其特征在于,所述将多个厚度一致的所述陶瓷外壳焊盘的研磨面朝上,排布并粘接固定在研磨夹具上,包括:
将所述研磨夹具放在加热台上加热;
在所述研磨夹具上涂抹熔融粘接剂;
将多个所述陶瓷外壳焊盘均匀粘接在所述研磨夹具上。
3.如权利要求2所述的倒装陶瓷外壳焊盘的制作方法,其特征在于,在所述将所述研磨夹具倒扣在研磨盘上,启动压力研磨机上的压盘,将所述研磨夹具压在所述研磨盘上之前:
在加热状态下,将所述研磨夹具放在压力台上,在所述陶瓷外壳焊盘的研磨面上覆盖保护层,启动所述压力台,将陶瓷外壳焊盘的研磨面压平,并挤出粘接剂和陶瓷外壳焊盘之间的气泡。
4.如权利要求3所述的倒装陶瓷外壳焊盘的制作方法,其特征在于,所述压力台为气动压力台。
5.如权利要求3所述的倒装陶瓷外壳焊盘的制作方法,其特征在于,所述压力台的支撑平台为金属制件。
6.如权利要求3所述的倒装陶瓷外壳焊盘的制作方法,其特征在于,所述保护层为尼龙板或聚氯乙烯板。
7.如权利要求1所述的倒装陶瓷外壳焊盘的制作方法,其特征在于,所述将所述研磨夹具倒扣在研磨盘上,启动压力研磨机上的压盘,将所述研磨夹具压在研磨盘上之前,包括:
启动研磨盘,利用研磨液对研磨盘进行修整,并检查清理研磨盘上的环形沟槽。
8.如权利要求1所述的倒装陶瓷外壳焊盘的制作方法,其特征在于,所述启动研磨盘转动,带动所述研磨夹具同时进行公转和自转,利用研磨液,对所述研磨夹具上固定的陶瓷外壳焊盘进行研磨之后,对陶瓷外壳焊盘进行一次清洁,包括:
将研磨夹具取下,放置到加热台上,加热至陶瓷外壳焊盘表面的粘接剂熔融,取下陶瓷外壳焊盘,清楚残留的粘接剂。
9.如权利要求8所述的倒装陶瓷外壳焊盘的制作方法,其特征在于,对陶瓷外壳焊盘进行二次清洁,包括:
将陶瓷外壳焊盘擦拭干净,利用超声波清除残留的粘接剂和粘污。
10.倒装陶瓷外壳的制作方法,其特征在于,包括:
准备具有凸点的倒装芯片;
在陶瓷生料上制作金属化过孔,高温烧结制备陶瓷外壳焊盘;
采用如权利要求1-9任一项所述的方法研磨制备陶瓷外壳焊盘;
将芯片倒装在陶瓷外壳焊盘上。
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