[发明专利]倒装陶瓷外壳焊盘的制作方法及倒装陶瓷外壳的制作方法在审

专利信息
申请号: 201911284212.6 申请日: 2019-12-13
公开(公告)号: CN111136572A 公开(公告)日: 2020-05-12
发明(设计)人: 李航舟;彭博;张崤君;刘冰倩;刘洋 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第十三研究所
主分类号: B24B37/04 分类号: B24B37/04;B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34;H01L21/48;H01L21/60
代理公司: 石家庄国为知识产权事务所 13120 代理人: 田甜
地址: 050051 *** 国省代码: 河北;13
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摘要:
搜索关键词: 倒装 陶瓷 外壳 制作方法
【权利要求书】:

1.倒装陶瓷外壳焊盘的制作方法,其特征在于,对经烧结后的陶瓷外壳焊盘进行研磨处理,包括:

将多个厚度一致的所述陶瓷外壳焊盘的研磨面朝上,排布并粘接固定在研磨夹具上;

将所述研磨夹具倒扣在研磨盘上,启动压力研磨机上的压盘,将所述研磨夹具压在所述研磨盘上;

启动研磨盘转动,带动所述研磨夹具同时进行公转和自转,利用研磨液,对所述研磨夹具上固定的陶瓷外壳焊盘进行研磨。

2.如权利要求1所述的倒装陶瓷外壳焊盘的制作方法,其特征在于,所述将多个厚度一致的所述陶瓷外壳焊盘的研磨面朝上,排布并粘接固定在研磨夹具上,包括:

将所述研磨夹具放在加热台上加热;

在所述研磨夹具上涂抹熔融粘接剂;

将多个所述陶瓷外壳焊盘均匀粘接在所述研磨夹具上。

3.如权利要求2所述的倒装陶瓷外壳焊盘的制作方法,其特征在于,在所述将所述研磨夹具倒扣在研磨盘上,启动压力研磨机上的压盘,将所述研磨夹具压在所述研磨盘上之前:

在加热状态下,将所述研磨夹具放在压力台上,在所述陶瓷外壳焊盘的研磨面上覆盖保护层,启动所述压力台,将陶瓷外壳焊盘的研磨面压平,并挤出粘接剂和陶瓷外壳焊盘之间的气泡。

4.如权利要求3所述的倒装陶瓷外壳焊盘的制作方法,其特征在于,所述压力台为气动压力台。

5.如权利要求3所述的倒装陶瓷外壳焊盘的制作方法,其特征在于,所述压力台的支撑平台为金属制件。

6.如权利要求3所述的倒装陶瓷外壳焊盘的制作方法,其特征在于,所述保护层为尼龙板或聚氯乙烯板。

7.如权利要求1所述的倒装陶瓷外壳焊盘的制作方法,其特征在于,所述将所述研磨夹具倒扣在研磨盘上,启动压力研磨机上的压盘,将所述研磨夹具压在研磨盘上之前,包括:

启动研磨盘,利用研磨液对研磨盘进行修整,并检查清理研磨盘上的环形沟槽。

8.如权利要求1所述的倒装陶瓷外壳焊盘的制作方法,其特征在于,所述启动研磨盘转动,带动所述研磨夹具同时进行公转和自转,利用研磨液,对所述研磨夹具上固定的陶瓷外壳焊盘进行研磨之后,对陶瓷外壳焊盘进行一次清洁,包括:

将研磨夹具取下,放置到加热台上,加热至陶瓷外壳焊盘表面的粘接剂熔融,取下陶瓷外壳焊盘,清楚残留的粘接剂。

9.如权利要求8所述的倒装陶瓷外壳焊盘的制作方法,其特征在于,对陶瓷外壳焊盘进行二次清洁,包括:

将陶瓷外壳焊盘擦拭干净,利用超声波清除残留的粘接剂和粘污。

10.倒装陶瓷外壳的制作方法,其特征在于,包括:

准备具有凸点的倒装芯片;

在陶瓷生料上制作金属化过孔,高温烧结制备陶瓷外壳焊盘;

采用如权利要求1-9任一项所述的方法研磨制备陶瓷外壳焊盘;

将芯片倒装在陶瓷外壳焊盘上。

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