[发明专利]一种钙钛矿太阳电池制备方法及制备装置

权利要求书

1.一种钙钛矿太阳电池制备方法，其特征在于：在衬底材料上通过低压气相沉积方法(lpvd)依次制备或分别制备电荷传输层、钙钛矿太阳电池光电转化层以及电荷传输层与光电转化层之间的修饰层等。

2.如权利要求1所述的钙钛矿太阳电池制备方法，其特征在于：制备的钙钛矿太阳电池为无机钙钛矿太阳电池、有机钙钛矿太阳电池或无机-有机杂化钙钛矿太阳电池；钙钛矿太阳电池为刚性钙钛矿太阳电池或柔性钙钛矿太阳电池；钙钛矿太阳电池为正式结构(nip)钙钛矿太阳电池或反式结构(pin)钙钛矿太阳电池。

3.如权利要求1所述的钙钛矿太阳电池制备方法，其特征在于：可以通过低压气相沉积方法(lpvd)单独制备钙钛矿太阳电池各功能层，独立制备钙钛矿太阳电池；也可以将低压气相沉积方法(lpvd)与其他制备方法联合使用，分别制备钙钛矿太阳电池各功能层，联合制备钙钛矿太阳电池；其中联合使用的其他制备方法为真空沉积、溶液刮涂、溶液旋涂、喷墨印刷中的一种或两种以上。

4.如权利要求1所述的钙钛矿太阳电池制备方法，其特征在于：所述的低压气相沉积方法(lpvd)包括但不限于低压化学气相沉积方法(lpcvd)、低压物理气相沉积方法(lppvd)、金属有机化合物化学气相沉积方法(mocvd)等。

5.如权利要求1所述的钙钛矿太阳电池制备方法，其特征在于：衬底材料为导电刚性或柔性材料；衬底材料是沉积完成钙钛矿太阳电池某一功能层或多个功能层后的刚性或柔性材料。

6.如权利要求1所述的钙钛矿太阳电池制备方法，其特征在于：

电荷传输层为电子传输层或空穴传输层；电荷传输层为无机电荷传输层、有机电荷传输层或无机-有机杂化电荷传输层。

7.如权利要求1钙钛矿太阳电池制备方法，其特征在于：光电转化层可以是无机光电转化层、有机光电转化层或无机-有机杂化光电转化层。

8.一种用于权利要求1-7任一项所述的钙钛矿太阳电池制备方法中的制备装置，其特征在于：该制备装置包括但不限于气体输运系统、反应源供应系统、真空加热沉积系统、尾气处理系统及控制系统等。

9.如权利要求8所述的制备装置，其特征在于：通过控制系统实现气体通过反应源供应系统将反应源载入到真空加热沉积系统中，实现钙钛矿太阳电池制备，最后通过尾气处理系统将尾气处理。

10.如权利要求8所述的制备装置，其特征在于：气体输运系统中输运的气体包括但不限于氮气、氩气等惰性气体。

11.如权利要求8所述的制备装置，其特征在于：反应源供应系统中的反应源为可生成空穴传输层的反应源或可生成电子传输层的反应源；反应源供应系统中的反应源为可生成钙钛矿光电转化层的反应源；反应源供应系统中的反应源为有机反应源、无机反应源或有机-无机杂化反应源。

12.如权利要求9所述的制备装置，其特征在于：可以将一路反应源载入到加热沉积系统中单独进行反应，也可以将多路反应源载入到加热沉积系统中同时进行反应。