[发明专利]一种真空处理器用真空控制器

权利要求书

1.一种真空处理器用真空控制器，包括壳体，所述壳体为空腔结构，壳体内部设有球形的阀芯，阀芯上设有径向贯穿阀芯的通气孔，阀芯顶端焊接固定有转轴，转轴的上端穿过壳体焊接固定有把手，阀芯的左侧为进气腔，阀芯的右侧为出气腔，壳体左侧连接有进气管，壳体右侧连接有出气管，进气管与进气腔连通，出气腔与出气管连通，其特征在于，所述真空处理器用真空控制器包括母阀和子阀两个，母阀的左侧面和子阀的右侧面焊接，母阀的进气腔和子阀的进气腔以及母阀的出气腔和子阀的出气腔之间通过管道连通，连通两个进气腔之间的管道内设有放置有活塞，活塞内设有L形侧通道，通道的一端与上侧面连通，通道的另一端与活塞的顶面连通，活塞顶面设有螺纹孔，螺纹孔的正上方的设有螺杆，螺杆的顶部穿过子阀的壳体且与壳体螺纹连接，螺杆顶部焊接有转动把手，通道正上表面上安装有透明的观察窗，观察窗上刻度标尺。

2.根据权利要求1所述的真空处理器用真空控制器，其特征在于，所述通道正上表面上安装有透明的观察窗，观察窗上刻度标尺。

3.根据权利要求1所述的真空处理器用真空控制器，其特征在于，所述活塞为圆柱形的橡胶柱。

4.根据权利要求1所述的真空处理器用真空控制器，其特征在于，所述真空处理器用真空控制器包括母阀和子阀两个，母阀的壳体的上端连接有进气管，阀的壳体的下端连接有出气管。

5.根据权利要求1所述的真空处理器用真空控制器，其特征在于，所述螺杆与壳体之间连接处设有密封橡胶圈。