[发明专利]在阵列间具有亚微米Y轴对准的多个线性传感器阵列

权利要求书

1.一种传感器阵列组件，包括：

第一传感器阵列，所述第一传感器阵列包括第一进程方向宽度和第一感光基元；

第二传感器阵列，所述第二传感器阵列包括第二进程方向宽度和第二感光基元；和

安装基板，所述第一传感器阵列和所述第二传感器阵列被单独地固定于其上，

其中所述第一感光基元与所述第二感光基元精确对准。

2.根据权利要求1所述的传感器阵列组件，其中所述第一传感器阵列包括至少两个第一子阵列，所述至少两个第一子阵列各自包括多个感光基元，并且所述第二传感器阵列包括至少两个第二子阵列，所述至少两个第二子阵列各自包括多个感光基元，并且所述至少两个第一子阵列中的所述多个感光基元与所述至少两个第二子阵列中的所述多个感光基元精确对准。

3.根据权利要求1所述的传感器阵列组件，其中所述第一传感器阵列被定位成与所述第二传感器阵列相距第一距离，所述第一距离大于或等于所述第一进程方向宽度或所述第二进程方向宽度。

4.根据权利要求1所述的传感器阵列组件，其中所述第一感光基元包括第一掩蔽部分和第一未掩蔽部分，并且所述第二感光基元包括第二掩蔽部分和第二未掩蔽部分。

5.根据权利要求4所述的传感器阵列组件，其中所述第一掩蔽部分与所述第二未掩蔽部分对准，所述第二掩蔽部分与所述第一未掩蔽部分对准。

6.根据权利要求4所述的传感器阵列组件，其中所述第一未掩蔽部分与所述第二未掩蔽部分部分地重叠对准。

7.根据权利要求4所述的传感器阵列组件，其中所述第一未掩蔽部分和所述第二未掩蔽部分中的每一者包括选自以下的形状：梯形；三角形；包括多于四个边的多边形；以及它们的组合。

8.根据权利要求4所述的传感器阵列组件，其中所述第一未掩蔽部分包括第一滤波器，并且所述第二未掩蔽部分包括第二滤波器。

9.根据权利要求8所述的传感器阵列组件，其中所述第一滤波器通过第一光谱并且所述第二滤波器通过第二光谱。

10.根据权利要求9所述的传感器阵列组件，其中所述第一光谱不同于所述第二光谱。

11.根据权利要求1所述的传感器阵列组件，其中所述第一传感器阵列包括第一行感光基元和第二行感光基元，所述第二传感器阵列包括第三行感光基元和第四行感光基元，所述第一行感光基元包括所述第一感光基元，所述第二行感光基元包括第三感光基元，所述第三行感光基元包括所述第二感光基元，所述第四行感光基元包括第四感光基元，并且所述第一感光基元与所述第二感光基元、所述第三感光基元和所述第四感光基元精确对准。

12.根据权利要求11所述的传感器阵列组件，其中所述第一感光基元包括第一掩蔽部分和第一未掩蔽部分，所述第二感光基元包括第二掩蔽部分和第二未掩蔽部分，所述第三感光基元包括第三掩蔽部分和第三未掩蔽部分，并且所述第四感光基元包括第四掩蔽部分和第四未掩蔽部分。

13.根据权利要求12所述的传感器阵列组件，其中所述第一掩蔽部分与所述第二未掩蔽部分对准，所述第二掩蔽部分与所述第一未掩蔽部分对准，所述第三掩蔽部分与所述第四未掩蔽部分对准，并且所述第四掩蔽部分与所述第三未掩蔽部分对准。

14.根据权利要求12所述的传感器阵列组件，其中所述第一未掩蔽部分与所述第二未掩蔽部分部分地重叠对准，并且所述第三未掩蔽部分与所述第四未掩蔽部分部分地重叠对准。