[发明专利]旋转式微通道板腐蚀装置与腐蚀方法

说明书

本发明提供一种旋转式微通道板腐蚀装置与腐蚀方法，包括：电动机；液压传动组件，具有液压传动轴；用于放置腐蚀夹具的托盘，与液压传动组件连接；石英腐蚀夹具，设置在所述托盘上腐蚀槽；供排液系统；以及用于清洗微通道板的超声波装置；电动机输出的扭力通过液压传动组件施加到托盘上，驱动托盘可进行周向旋转，并且所述液压传动组件为可升降液压传动组件，在其驱动下使得托盘上下升降以进入和脱离腐蚀槽；所述液压连杆组件将腐蚀托盘和电动机置于腐蚀液位上下两侧，腐蚀过程中所述腐蚀槽中液体完全没过石英腐蚀夹具，并通过托盘自身旋转来实现微通道板快速腐蚀。

技术领域

本发明涉及微通道板的制备技术领域，具体而言涉及一种旋转式微通道板腐蚀装置与腐蚀方法。

背景技术

微通道板是一种特殊光学纤维器件，是一种先进的具有传输、增强电子图像功能的电子倍增器，具有体积小、重量轻、分辨率好、增益高、噪声低、使用电压低等优点，它利用其二次电子发射特性，可使高速碰撞在内壁(通道)上的电子成倍增加，使之达到万倍以上的电子增流。利用这种特性，目前微通道板广泛用于光电倍增管、像增强器、微光电视、X光像增强器、高速示波管以及光子计数、X-射线、紫外光子、电子、离子、带电粒子、亚原子粒子等多领域的探测应用。

微通道板的生产过程涉及到的步骤众多，其中腐蚀过程用于微通道孔的形成，通道孔(内壁)质量的好坏对于产品性能有着直接的影响。目前主流的腐蚀方法是借助恒温磁力搅拌器的磁石转子搅动烧杯中的酸碱液。该方法受控于流体在通道板表面的流速大小与方向不定，影响了通道孔内部腐蚀残余的及时析出以及腐蚀液在通道孔内的更新，因此腐蚀效率较低且表面质量差。

发明内容

为了克服现有微通道板腐蚀方法和设备中的不足，本发明提供了一种旋转式微通道板腐蚀装置，用于解决目前微通道板腐蚀效率低，表明质量差的技术问题。

根据本发明的目的提出一种旋转式微通道板腐蚀装置，包括：

用于提供扭转动力的电动机；

用于传递扭转力的液压传动组件，具有与所述电动机连接的液压传动轴；

用于放置腐蚀夹具的托盘，与液压传动组件连接；

用于放置微通道板的石英腐蚀夹具，设置在所述托盘上；

用于装盛腐蚀及清洗液的腐蚀槽；

用于控制腐蚀及清洗液用量和更换时间的供排液系统；以及

用于清洗微通道板的超声波装置，设置在腐蚀槽底部；

其中，电动机输出的扭力通过液压传动组件施加到托盘上，驱动托盘可进行周向旋转，并且所述液压传动组件为可升降液压传动组件，在其驱动下使得托盘上下升降以进入和脱离腐蚀槽；

所述液压连杆组件将腐蚀托盘和电动机置于腐蚀液位上下两侧，腐蚀过程中所述腐蚀槽中液体完全没过石英腐蚀夹具，并通过所述托盘自身旋转来实现微通道板快速腐蚀。

优选地，所述微通道板的石英腐蚀夹具置于托盘中，每个托盘放置两个石英腐蚀夹具，并且微通道板的表面法向量与旋转线速度垂直。

优选地，所述托盘的四周和底部为镂空结构。

优选地，所述旋转式微通道板腐蚀装置具有多组托盘，均匀地围绕所述液压传动组件为轴线的方向布置。

优选地，所述腐蚀槽的容积为30-200L，腐蚀液在每道工序中均注满整个腐蚀槽。

优选地，腐蚀过程中，托盘位置处于腐蚀槽的液位之下150mm处。

优选地，所述液压传动轴为多段升降结构，每段升降高度50-100mm。

本发明还提出一种微通道板腐蚀方法，包括：