[发明专利]检测光刻掩模的区域部分上的结构的检测装置及设备

说明书

检测装置用于检测光刻掩模的区域部分上的结构。检测装置具有第一空间分辨的检测器以及与其分离布置的其他空间分辨的检测器。第一空间分辨的检测器实施为高强度(HI)检测器，布置在从掩模区域部分发出的检测光的HI束路径中。其他空间分辨的检测器实施为低强度(LI)检测器，布置在检测光的LI束路径中，HI束路径和LI束路径实施为使得用一检测光强度照明HI检测器，该检测光强度至少是照明LI检测器的检测光强度的幅度的两倍。两个空间分辨的检测器实施为同步检测检测光。结果是检测装置的动态范围提高而不限制空间分辨率的检测装置。替代地或附加地，通过两个空间分辨的检测器，检测装置还可以实施为对检测光进行偏振分辨测量。

相关申请的交叉引用

本专利申请要求德国专利申请DE 10 2018 221 647.9的优先权，其内容通过引用并入本文。

技术领域

本发明涉及检测光刻掩模的区域部分上的结构的检测装置。本发明还涉及包括该类型的检测装置、检测光刻掩模的区域部分上的结构的设备。

背景技术

从WO 2016/012426 A1已知检测光刻掩模的结构的方法和相应的设备。后来，在对布置在物平面中的光刻掩模成像期间，3D空间像测量发生在像平面附近的区域中。关于偏振分辨的光测量的检测器，特别是参考EP 1 615 062 B1、DE 10 2007 045 891 A1、DE 102017 115 262 A1、DE 10 2004 033 603 A1、DE 10 2004 033 602 A1、DE 10 2005 062237 A1和DE 10 2007 009 661 A1。EP 0 218 213 B1公开了在线测量移动物体处的透射和反射的方法和设备。DE 38 35 892 C1公开了远程激光干涉仪。

发明内容

本发明的目的是开发引言中提及的类型的检测装置，使得该检测装置的动态范围增加而不会限制空间分辨率。

根据本发明，通过具有下文指定的特征的检测装置实现该目的。

一种检测装置，所述检测装置用于检测光刻掩模的区域部分上的结构，

-包括第一空间分辨的检测器，所述第一空间分辨的检测器实施为高强度检测器(HI)，布置在从所述掩模区域部分发出的检测光的HI束路径中，

-包括其他空间分辨的检测器，所述其他空间分辨的检测器与所述第一空间分辨的检测器分离地布置，实施为低强度(LI)检测器，布置在所述检测光的LI束路径中，

-其中一方面所述HI束路径和另一方面所述LI束路径实施为使得用一检测光强度照明所述HI检测器，所述检测光强度至少是照明所述LI检测器的检测光强度的幅度的两倍。

-其中所述两个空间分辨的检测器实施为同步检测所述检测光。