[发明专利]一种基于石墨烯微纳光纤的温度传感器及其制备方法有效
申请号: | 201911293481.9 | 申请日: | 2019-12-12 |
公开(公告)号: | CN110987227B | 公开(公告)日: | 2022-07-12 |
发明(设计)人: | 付广伟;付兴虎;王碧霖;王晓愚;毕卫红 | 申请(专利权)人: | 燕山大学 |
主分类号: | G01K11/324 | 分类号: | G01K11/324 |
代理公司: | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人: | 杨媛媛 |
地址: | 066000 河北省*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 石墨 烯微纳 光纤 温度传感器 及其 制备 方法 | ||
1.一种基于石墨烯微纳光纤的温度传感器,其特征在于,包括:多模光纤以及单层石墨烯;
所述单层石墨烯覆盖在所述多模光纤的光纤传感区,形成基于石墨烯微纳光纤的温度传感器;
所述多模光纤的包层直径为125μm,纤芯直径为105μm;
所述光纤传感区为氢氧焰加热熔融拉制成的锥区,所述锥区的最大长度为8mm;所述锥区的束腰直径范围为57μm~58μm;
所述单层石墨烯的层厚度为0.34nm;
所述基于石墨烯微纳光纤的温度传感器的制备方法,包括:
利用氢氧焰加热熔融法将多模光纤的光纤传感区拉制为锥区;
利用化学气相沉积方法在铜基底上生长一层单层石墨烯,并在所述单层石墨烯上旋涂一层聚甲基丙烯酸甲酯PMMA薄膜;所述利用化学气相沉积方法在铜基底上生长一层单层石墨烯,并在所述单层石墨烯上旋涂一层聚甲基丙烯酸甲酯PMMA薄膜,具体包括:由氢气、甲烷与氩气组成的混合气体通过化学气相沉积方法在1cm2铜基底上生长一层单层石墨烯;再在所述单层石墨烯上旋涂一层厚度为100nm~200nm的PMMA薄膜,并在120℃下固化3min;
利用腐蚀法腐蚀带有铜基底的单层石墨烯,得到带有PMMA薄膜的单层石墨烯;
通过转移方法将所述带有PMMA薄膜的单层石墨烯转移到所述多模光纤的锥区,使得所述单层石墨烯与所述锥区贴合,并去除所述PMMA薄膜,得到基于石墨烯微纳光纤的温度传感器。
2.一种基于石墨烯微纳光纤的温度传感器的制备方法,其特征在于,包括:
利用氢氧焰加热熔融法将多模光纤的光纤传感区拉制为锥区;
利用化学气相沉积方法在铜基底上生长一层单层石墨烯,并在所述单层石墨烯上旋涂一层聚甲基丙烯酸甲酯PMMA薄膜;所述利用化学气相沉积方法在铜基底上生长一层单层石墨烯,并在所述单层石墨烯上旋涂一层聚甲基丙烯酸甲酯PMMA薄膜,具体包括:由氢气、甲烷与氩气组成的混合气体通过化学气相沉积方法在1cm2铜基底上生长一层单层石墨烯;再在所述单层石墨烯上旋涂一层厚度为100nm~200nm的PMMA薄膜,并在120℃下固化3min;
利用腐蚀法腐蚀带有铜基底的单层石墨烯,得到带有PMMA薄膜的单层石墨烯;
通过转移方法将所述带有PMMA薄膜的单层石墨烯转移到所述多模光纤的锥区,使得所述单层石墨烯与所述锥区贴合,并去除所述PMMA薄膜,得到基于石墨烯微纳光纤的温度传感器。
3.根据权利要求2所述的基于石墨烯微纳光纤的温度传感器的制备方法,其特征在于,所述利用腐蚀法腐蚀带有铜基底的单层石墨烯,得到带有PMMA薄膜的单层石墨烯,具体包括:
以铜基底为底面,以PMMA薄膜为顶面,将所述带有铜基底的单层石墨烯置于溶液浓度为1mol/L的三氯化铁FeCl3溶液中,待所述铜基底被完全腐蚀,再将腐蚀后的带有PMMA薄膜的单层石墨烯转移至去离子水中,清除残留的FeCl3,得到带有PMMA薄膜的单层石墨烯。
4.根据权利要求2所述的基于石墨烯微纳光纤的温度传感器的制备方法,其特征在于,所述通过转移方法将所述带有PMMA薄膜的单层石墨烯转移到所述多模光纤的锥区,使得所述单层石墨烯与所述锥区贴合,并去除所述PMMA薄膜,得到基于石墨烯微纳光纤的温度传感器,具体包括:
以所述单层石墨烯为底面,以所述PMMA薄膜为顶面,将所述带有PMMA薄膜的单层石墨烯浮在去离子水面上;
利用拉锥后的多模光纤,自下而上将所述带有PMMA薄膜的单层石墨烯挑出水面,并在90℃的烘箱内加热1h,使得所述带有PMMA薄膜的单层石墨烯和所述多模光纤的锥区贴合;
冷却贴合后的多模光纤,并将所述贴合后的多模光纤置入丙酮溶液中,去除所述PMMA薄膜,得到基于石墨烯微纳光纤的温度传感器。
5.根据权利要求4所述的基于石墨烯微纳光纤的温度传感器的制备方法,其特征在于,所述冷却贴合后的多模光纤,并将所述贴合后的多模光纤置入丙酮溶液中,去除所述PMMA薄膜,得到基于石墨烯微纳光纤的温度传感器,具体包括:
利用丙酮溶液浸泡所述贴合后的多模光纤三次,每次使用丙酮溶液浸泡30分钟。
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