[发明专利]一种诊断集成电路装备运行状态的装置及方法

权利要求书

1.一种诊断集成电路装备运行状态的方法，其特征在于，包括如下步骤：

S01：声音采集模块采集集成电路装备运行过程中的训练声音数据，并将所述训练声音数据及其对应的运行状态传输至分析计算模块，所述分析计算模块对所述训练声音数据及其对应的运行状态进行深度学习，形成诊断模型；

S02：所述声音采集模块采集集成电路装备运行过程中的诊断声音数据；

S03：所述诊断声音数据传输至所述诊断模型中，所述诊断模型根据该诊断声音数据判断所述集成电路装备的运行状态，并将判断结果传输至反馈模块；

S04：所述反馈模块根据接收到的运行状态，判断所述集成电路装备运行是否正常。

2.根据权利要求1所述的一种诊断集成电路装备运行状态的方法，其特征在于，所述声音采集模块位于所述集成电路装备的内部和/或外部。

3.根据权利要求1所述的一种诊断集成电路装备运行状态的方法，其特征在于，所述训练声音数据和诊断声音数据包括声音强度、声音频率和声音波形。

4.根据权利要求1所述的一种诊断集成电路装备运行状态的方法，其特征在于，所述步骤S01中声音采集模块采集到的训练声音数据及其对应的运行状态存储在存储模块中，所述存储模块将多个训练声音数据及其对应的运行状态传输至所述分析计算模块；

所述步骤S02中所述声音采集模块采集到的诊断声音数据存储在存储模块中，所述存储模块将所述诊断声音数据传输至所述诊断模型中。

5.根据权利要求1所述的一种诊断集成电路装备运行状态的方法，其特征在于，所述分析计算模块采用开源的深度学习算法进行深度学习。

6.根据权利要求1所述的一种诊断集成电路装备运行状态的方法，其特征在于，所述反馈模块判断所述集成电路装备运行异常时，发出报警和/或反馈提示。

7.一种诊断集成电路装备运行状态的装置，其特征在于，包括声音采集模块、分析计算模块和反馈模块，其中，所述分析计算模块分别连接所述声音采集模块和反馈模块；所述声音采集模块采集集成电路装备运行过程中的训练声音数据，并将所述训练声音数据及其对应的运行状态传输至分析计算模块，所述分析计算模块对所述训练声音数据及其对应的运行状态进行深度学习，形成诊断模型；

声音采集模块采集集成电路装备运行过程中的诊断声音数据；并将所述诊断声音数据传输至所述诊断模型中，所述诊断模型根据该诊断声音数据判断所述集成电路装备的运行状态，并将判断结果传输至反馈模块；所述反馈模块根据接收到的运行状态，判断所述集成电路装备运行是否正常。

8.根据权利要求7所述一种诊断集成电路装备运行状态的装置，其特征在于，所述装置还包括存储模块，所述存储模块分别连接声音采集模块和所述分析计算模块，所述声音采集模块采集到的训练声音数据及其对应的运行状态存储在存储模块中，所述存储模块将多个训练声音数据及其对应的运行状态传输至所述分析计算模块；

或者所述声音采集模块采集到的诊断声音数据存储在存储模块中，所述存储模块将所述诊断声音数据传输至所述诊断模型中。

9.根据权利要求7所述一种诊断集成电路装备运行状态的装置，其特征在于，所述集成电路装备包括M个装备单元，所述声音采集模块包括M个声音采集单元，所述分析计算模块包括M个分析计算单元，所述反馈模块包括M个反馈单元，且M个装备单元、声音采集单元、分析计算单元和反馈单元一一对应；M为大于0的整数。

10.根据权利要求7所述一种诊断集成电路装备运行状态的装置，其特征在于，所述诊断模型为卷积神经网络模型。