[发明专利]含有Mo、W和Se的合金和相关复杂异质结及其制备方法有效
申请号: | 201911294395.X | 申请日: | 2019-12-16 |
公开(公告)号: | CN111005005B | 公开(公告)日: | 2022-02-15 |
发明(设计)人: | 袁小明;方龙;陶少华;周易瑾 | 申请(专利权)人: | 中南大学 |
主分类号: | C23C16/30 | 分类号: | C23C16/30;C23C16/455;C23C16/52 |
代理公司: | 长沙智路知识产权代理事务所(普通合伙) 43244 | 代理人: | 曲超 |
地址: | 410083 湖南*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 含有 mo se 合金 相关 复杂 异质结 及其 制备 方法 | ||
1.一种含有Mo、W和Se的合金及相关复杂异质结的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
1)将2mg氧化钼、120mg氧化钨进行研磨处理,并混合均匀,得到混合原料;
2)将40mg硒粉置于管式炉中的第一温区,所述混合原料置于管式炉中的第二温区,并在所述混合原料后放置作为材料沉淀用衬底 的蓝宝石;
3)抽取空气使所述管式炉内达到真空,然后向所述管式炉中通入惰性气体至所述管式炉内压强达到常压;
4)在加热过程中向所述管式炉中通入氢气和氩气混合气体,气体流量分别为2sccm、18sccm,同时将第一温区和第二温区分别加热到370℃和800℃,且升温速率均为20℃每分钟;第一温区温度保持不变,然后将第二温区在800℃保持3分钟然后继续升温到840℃保温4分钟,升温速率为10℃每分钟,获得沉积在蓝宝石上的MoSe2-Mo1-xWxSe2合金;
或者:
1)将2mg氧化钼、120mg氧化钨进行研磨处理,并混合均匀,得到混合原料;
2)将30mg硒粉置于管式炉中的第一温区,所述混合原料置于管式炉中的第二温区,并在所述混合原料后放置作为材料沉淀用衬底 的蓝宝石;
3)抽取空气使所述管式炉内达到真空,然后向所述管式炉中通入惰性气体至所述管式炉内压强达到常压;
4)在加热过程中向所述管式炉中通入氢气和氩气混合气体,气体流量分别为2sccm、18sccm,同时将第一温区和第二温区分别加热到320℃和840℃,且升温速率均为10℃每分钟,生长4分钟后,第一温区温度保持不变,然后将第二温区继续升温到920℃,升温速率为20℃每分钟,然后在920℃生长4分钟,获得沉积在蓝宝石上的垂直MoSe2-WSe2和横向MoSe2-WSe2混合复杂异质结结构;
其中,所述硒粉、氧化钼和氧化钨的纯度均大于99.9%;0<x<1。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,在步骤3)中,抽取真空的时间为10~30分钟。
3.一种含有Mo、W和Se的合金和相关复杂异质结,其特征在于,通过权利要求1~2任一项所述的制备方法制得。
4.根据权利要求3所述的含有Mo、W和Se的合金和相关复杂异质结,其特征在于,包含如下通式中的至少一种:MoSe2-Mo1-xWxSe2、Mo1-xWxSe2-WSe2,其中,0x1。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的