[发明专利]含有Mo、W和Se的合金和相关复杂异质结及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201911294395.X 申请日: 2019-12-16
公开(公告)号: CN111005005B 公开(公告)日: 2022-02-15
发明(设计)人: 袁小明;方龙;陶少华;周易瑾 申请(专利权)人: 中南大学
主分类号: C23C16/30 分类号: C23C16/30;C23C16/455;C23C16/52
代理公司: 长沙智路知识产权代理事务所(普通合伙) 43244 代理人: 曲超
地址: 410083 湖南*** 国省代码: 湖南;43
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 含有 mo se 合金 相关 复杂 异质结 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种含有Mo、W和Se的合金及相关复杂异质结的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:

1)将2mg氧化钼、120mg氧化钨进行研磨处理,并混合均匀,得到混合原料;

2)将40mg硒粉置于管式炉中的第一温区,所述混合原料置于管式炉中的第二温区,并在所述混合原料后放置作为材料沉淀用衬底 的蓝宝石;

3)抽取空气使所述管式炉内达到真空,然后向所述管式炉中通入惰性气体至所述管式炉内压强达到常压;

4)在加热过程中向所述管式炉中通入氢气和氩气混合气体,气体流量分别为2sccm、18sccm,同时将第一温区和第二温区分别加热到370℃和800℃,且升温速率均为20℃每分钟;第一温区温度保持不变,然后将第二温区在800℃保持3分钟然后继续升温到840℃保温4分钟,升温速率为10℃每分钟,获得沉积在蓝宝石上的MoSe2-Mo1-xWxSe2合金;

或者:

1)将2mg氧化钼、120mg氧化钨进行研磨处理,并混合均匀,得到混合原料;

2)将30mg硒粉置于管式炉中的第一温区,所述混合原料置于管式炉中的第二温区,并在所述混合原料后放置作为材料沉淀用衬底 的蓝宝石;

3)抽取空气使所述管式炉内达到真空,然后向所述管式炉中通入惰性气体至所述管式炉内压强达到常压;

4)在加热过程中向所述管式炉中通入氢气和氩气混合气体,气体流量分别为2sccm、18sccm,同时将第一温区和第二温区分别加热到320℃和840℃,且升温速率均为10℃每分钟,生长4分钟后,第一温区温度保持不变,然后将第二温区继续升温到920℃,升温速率为20℃每分钟,然后在920℃生长4分钟,获得沉积在蓝宝石上的垂直MoSe2-WSe2和横向MoSe2-WSe2混合复杂异质结结构;

其中,所述硒粉、氧化钼和氧化钨的纯度均大于99.9%;0<x<1。

2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,在步骤3)中,抽取真空的时间为10~30分钟。

3.一种含有Mo、W和Se的合金和相关复杂异质结,其特征在于,通过权利要求1~2任一项所述的制备方法制得。

4.根据权利要求3所述的含有Mo、W和Se的合金和相关复杂异质结,其特征在于,包含如下通式中的至少一种:MoSe2-Mo1-xWxSe2、Mo1-xWxSe2-WSe2,其中,0x1。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中南大学,未经中南大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201911294395.X/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top