[发明专利]成像模组及其制造方法

说明书

本发明提供了一种成像模组及其制造方法，通过设计第一电极和第二电极，所述第一电极和所述第二电极在施加电压后，所述第二电极能够朝向所述第一电极靠近，从而拉伸所述柔性部件以改变所述柔性部件的形状，由此即可实现成像模组的焦距或者进光量和/或入射光的张角范围的改变。特别的，包括所述第一电极和所述第二电极的运动控制器可以通过半导体工艺实现，所述运动控制器可以制造的非常小并且制造工艺也非常简便，从而所形成的成像模组非常适于在空间体积狭小的手机等电子终端中应用。

技术领域

本发明涉及光学成像技术领域，特别涉及一种成像模组及其制造方法。

背景技术

变焦镜在光学成像等领域具有重要的作用。对于传统的光学透镜，自身成像参数(例如焦距)是固定不变的，为了实现对焦的目的，必须移动透镜，进而改变物距和像距，使得像落在成像面上。现有的对焦系统基本采用上述原理，存在占用空间/体积大，笨重等问题，且需要较复杂精密的机械位移装置来移动透镜，成本较高。

在此基础上，有人提出“柔性部件”的概念，使用柔性透光材料制备透镜，通过外加机械作用改变透镜的形状/光学平面的面型，达到同一个透镜成像参数(例如焦距)可变的目的。早期对于宏观尺寸的透镜(例如直径厘米量级)，透镜自身质量较大，若材料过于柔软，则自身重力对面型的影响较大；若材料过硬，透镜自身的拉伸延展比较困难，因此难以应用。一种方法为通过压电驱动光学透镜实现变焦，所述压电驱动光学透镜包括：玻璃基底，位于玻璃基底上的有机柔性聚合物层，和位于有机柔性聚合物层上的超薄压电薄膜玻璃；通过对所述压电薄膜玻璃供电，使得所述压电薄膜玻璃发生形变，进而改变有机柔性聚合物层的形状，从而实现变焦。然而这种方式的柔性部件不方便与半导体晶圆级工艺集成，同时由于有机柔性聚合物层位于两层基底之间，为平面结构，无法实现非球面型、凹面型或者马鞍面等结构，变焦范围有限。

还可以通过液晶透镜实现变焦，通过控制电压，使得液晶透镜的曲面发生变化，从而实现变焦，然而液晶透镜的透光率低，且功耗较高。液体镜头也可以用于改变镜片的焦距，液体镜头通过加热、加压等方式，对液体镜头注入或抽出液体镜头内的液体，从而改变不同折射率液体间或液体跟空气间弹性膜的形状，进而改变液体镜头的焦距；然而液体镜头的形成工艺不成熟，且难以与半导体工艺兼容。

人们发现一方面柔性部件的尺寸缩小到毫米量级后，材料的柔性和面型的保持可以得到较好的平衡(此时即便材料比较柔软容易拉伸，透镜自身的重力对面型的影响基本可以忽略)，另一方面，毫米量级的柔性部件不仅大小满足手机等终端摄像头模组的尺寸需求，而且柔性部件的自变焦功能可以很大程度取代VCM马达(Voice Coil Actuator/VoiceCoil Motor，音圈马达)，依靠自身的变焦实现模组整体的自动对焦功能，节省下微小尺寸模组中移动镜头/透镜组的空间。基于此，如何提供一种具有变焦能力的成像模组，成了本领域技术人员的一个新的研发目标。

发明内容

本发明的目的在于提供一种成像模组及其制造方法，以提供一种具有成像参数可变能力的成像模组。

为了实现上述目的，在本发明的一方面，提供了一种成像模组，所述成像模组包括：

柔性部件，所述柔性部件包括柔性镜片或柔性光圈；以及

运动控制器，所述运动控制器包括底座以及设置于所述底座上的至少一个电极组，所述电极组包括第一电极以及与所述第一电极间隔设置的第二电极，所述第二电极包括固定部及与所述固定部连接的可动部，所述固定部固定于所述底座上，所述可动部悬空于所述底座上，所述第二电极的所述可动部与所述柔性部件相连；

所述第一电极和所述第二电极在施加电压后，所述第二电极能够朝向所述第一电极靠近，从而拉伸所述柔性部件以改变所述柔性部件的形状。

在本发明的另一方面，提供了一种成像模组的制造方法，所述成像模组的制造方法包括：