[发明专利]在线式激光调阻机及调阻方法

权利要求书

1.一种在线式激光调阻机，其包括激光器(1)、电阻检测设备(2)和处理器(3)，其特征在于：还包括工件固定组件(4)、继电器(5)和进气组件(6)，所述工件固定组件(4)包括工作台(41)、直线模组(42)和三根探针(43)，其中，

工作台(41)，中间设置有穿孔(4110)，机械式压力传感器壳体(K)嵌入穿孔(4110)内并与工作台(41)电性连接；

进气组件(6)，选择性连通机械式压力传感器壳体(K)上的进气孔，并向进气孔内增加或者降低气压；

三根探针(43)，分别标记为1#探针(43)、2#探针(43)和3#探针(43)；

直线模组(42)，驱动三根探针(43)上升或者下降，当三根探针(43)下降到底部时，1#探针(43)与工作台(41)电性连接，2#探针(43)与机械式压力传感器厚膜电阻片(S)上的末位金属线(S2)电性连接，3#探针(43)与 机械式压力传感器厚膜电阻片(S)上的零位金属线(S2)电性连接；

电阻检测设备(2)，与1#探针(43)电性连接，与2#探针(43)和3#探针(43)分别通过继电器(5)电性连接，检测1#探针(43)与2#探针(43)或3#探针(43)之间的实时电阻值并发送给处理器(3)；

处理器(3)，分别与继电器(5)、进气组件(6)和激光器(1)信号连接，控制进气组件(6)向进气孔内增加或者降低气压，控制激光器(1)运动并发射或者停止发射激光束；

激光器(1)，发射激光束，对厚膜电阻片(S)上的厚膜电阻层(S3)进行烧蚀；

所述当三根探针(43)下降到底部时，电阻检测设备(2)通过继电器(5)与1#探针(43)和机械式压力传感器上的弹性触片(T)电性连接，电阻检测设备(2)与3#探针(43)电性连接，继电器(5)与2#探针(43)断开电性连接；处理器(3)控制进气组件(6)向进气孔内增加气压，直至弹性触片(T)与厚膜电阻片(S)上的末位金属线(S2)接触后，再控制进气组件(6)泄压，直至弹性触片(T)与厚膜电阻片(S)上的零位金属线(S2)接触；然后控制继电器(5)切换至与3#探针(43)断开电性连接，与2#探针(43)电性连接。

2.如权利要求1所述的在线式激光调阻机，其特征在于：所述工作台(41)包括工件定位台(411)、滑板(412)、导向杆(413)、底板(414)和第一气缸(415)，工件定位台(411)中间设置有穿孔(4110)且底部与滑板(412)固定，导向杆(413)两端分别连接底板(414)，第一气缸(415)分别连接导向杆(413)与滑板(412)，所述工件定位台(411)上并排设置有两个以上的穿孔(4110)。

3.如权利要求2所述的在线式激光调阻机，其特征在于：所述工件固定组件(4)还包括U形金属弹片(416)，U形金属弹片(416)卡在穿孔(4110)内壁和工件定位台(411)外壁上，并与机械式压力传感器壳体(K)接触。

4.如权利要求2所述的在线式激光调阻机，其特征在于：进气组件(6)包括第三气缸(61)、进气顶杆(62)和电磁阀(63)，第三气缸(61)固定在底板(414)上并连接进气顶杆(62)，进气顶杆(62)上开设有气流通道并选择性与进气孔连通或者断开，外部气体加压装置通过电磁阀(63)与进气顶杆(62)连通，电磁阀(63)与处理器(3)信号连接。

5.如权利要求2所述的在线式激光调阻机，其特征在于：所述工件固定组件(4)还包括底座(417)、滑轨(418)和丝杆电机(419)，滑轨(418)固定在底座(417)上并与底板(414)滑动连接，丝杆电机(419)分别连接底座(417)和底板(414)。

6.如权利要求2所述的在线式激光调阻机，其特征在于：所述工件固定组件(4)还包括限位板(410)，与底板(414)固定，且在正对穿孔(4110)处设置有与机械式压力传感器支架(Z)形状相适应的限位槽(4100)。