[发明专利]对准装置和方法、成膜装置和方法及电子器件的制造方法

说明书

本发明提供对准装置和方法、成膜装置和方法及电子器件的制造方法，在成膜装置中，提高使用对准载置台对基板与掩模进行对准时的对准精度。使用进行基板与掩模的位置对合的对准装置，其中，该对准装置具有：基板支承部件；对准载置台，使支承于基板支承部件的基板平移或旋转；控制部，驱动对准载置台；以及位置获取部件，对基板对准标记进行检测而获取位置信息，控制部一边使对准载置台以载置台中心位置为中心旋转，一边通过位置获取部件多次获取基板对准标记的位置信息，基于多个位置信息，获取载置台中心位置的信息，使基板相对于基板支承部件相对地移动，以使作为基板的中心的基板中心位置来到通过载置台中心位置的对准载置台的旋转轴上。

技术领域

本发明涉及对准装置、成膜装置、对准方法、成膜方法以及电子器件的制造方法。

背景技术

显示装置所使用的显示器具有液晶显示器等各种种类。其中，有机电场发光显示器的响应速度、视场角、薄型化等特性优异，近年来，利用领域广泛地遍布于监视器、电视机、智能手机等。

有机电场发光显示器具有在彼此相向的阴极电极与阳极电极之间形成有有机物层的基本构造。为了形成有机电场发光显示器的有机物层、成为电极的金属层，成膜装置在真空腔室内隔着形成有规定的图案的掩模，使来自蒸发源的蒸镀材料蒸镀到基板上。此时，为了使蒸镀物质附着于基板上的所希望的位置，需要精度良好地固定掩模与基板的相对位置关系。因此，成膜装置使用对准装置，在蒸镀开始前对掩模和基板进行对准，由此精度良好地对掩模和基板进行定位。

专利文献1(日本特开2006-176809号公报)公开了使用具备对准载置台的对准装置的基板与掩模的对准方法。在专利文献1的对准装置中，对利用CCD照相机拍摄分别配置于基板和掩模的标记而得到的图像数据进行解析。并且，基于基板与掩模的标记间的位置关系，判定基板与掩模的相对位置是否在容许范围内。在容许范围外的情况下，对准装置驱动对准载置台，使由钩构件支承的基板在XY方向上移动或者绕与XY平面正交的Z轴(θ方向)旋转，由此调整基板与掩模的相对位置。然后，通过固定基板和掩模，能够在所希望的位置进行掩模图案那样的成膜。

专利文献1：日本特开2006-176809号公报

在此，发明人进行了深入研究，作为其结果，获知在对准装置使基板或掩模进行θ旋转时，若在对准载置台的中心位置与基板的中心位置之间产生偏离，则对准精度降低。作为其原因之一，认为是当使对准载置台以远离载置台中心位置的位置为中心进行θ旋转时，旋转中心位置越远离载置台中心位置，对准载置台的驱动精度越低。例如，在载置台中心位置与基板中心位置偏离时，即使欲以基板中心位置为中心(或者以载置台中心位置为中心)使基板进行θ旋转，不仅产生旋转运动，还产生平移运动。

可是，在专利文献1的技术中，没有关于使载置台中心位置与基板中心位置对合的记载，对准精度有可能降低。另外，在使用代替基板或者与基板一起也调整掩模的位置那样的对准装置的情况下，在掩模中心位置与载置台中心位置偏离时，也发生同样的对准精度降低。

发明内容

本发明是鉴于上述课题而完成的，其目的在于提高在成膜装置中使用对准载置台对基板与掩模进行对准时的对准精度。

用于解决课题的技术方案

本发明采用以下的结构。即，

一种对准装置，是进行基板与掩模的位置对合的对准装置，其特征在于，

该对准装置具有：

基板支承部件，支承所述基板；

对准载置台，与所述基板支承部件连接，使支承于所述基板支承部件的所述基板平移或旋转；

控制部，驱动所述对准载置台；以及

位置获取部件，对设置于所述基板的基板对准标记进行检测而获取位置信息，

所述控制部