[发明专利]一种MEMS结构

权利要求书

1.一种MEMS结构，其特征在于，包括：

衬底，具有空腔；

压电复合振动层，形成在所述空腔的正上方；

连接件，形成在所述衬底上方并且连接所述衬底和所述压电复合振动层。

2.根据权利要求1所述的MEMS结构，其特征在于，所述连接件具有波浪形褶皱。

3.根据权利要求2所述的MEMS结构，其特征在于，所述波浪形褶皱具有从所述衬底向外突出的凸起和/或从所述衬底向内凹进的凹槽，其中，所述波浪形褶皱位于所述压电复合振动层的外围。

4.根据权利要求1所述的MEMS结构，其特征在于，并且所述压电复合振动层的区域面积小于所述空腔的区域面积，所述压电复合振动层包括：

振动支撑层，形成在所述衬底上方；

第一电极层，形成在所述振动支撑层上方；

第一压电层，形成在所述第一电极层上方；

第二电极层，形成在所述第一压电层上方。

5.根据权利要求4所述的MEMS结构，其特征在于，所述连接件的第一端连接在所述衬底上方，所述连接件的第二端连接在露出的所述振动支撑层上方，所述第一电极层的区域面积小于所述振动支撑层的区域面积。

6.根据权利要求1所述的MEMS结构，其特征在于，所述连接件的材料包括聚酰亚胺薄膜、聚对二甲苯。

7.根据权利要求1所述的MEMS结构，其特征在于，所述连接件的厚度小于所述压电复合振动层的厚度。

8.根据权利要求1所述的MEMS结构，其特征在于，所述MEMS结构还包括质量块，所述质量块形成在所述压电复合振动层上方或下方的中间区域。

9.根据权利要求4所述的MEMS结构，其特征在于，所述第一电极层和所述第二电极层具有至少两个相互隔离的分区，相互对应的所述第一电极层和所述第二电极层的分区构成电极层对，多个所述电极层对依次串联。

10.根据权利要求4所述的MEMS结构，其特征在于，所述振动支撑层包括氮化硅、氧化硅、单晶硅、多晶硅构成的单层或者多层复合膜结构，所述第一压电层包括氧化锌、氮化铝、有机压电膜、锆钛酸铅或钙钛矿型压电膜中的一层或多层。