[发明专利]检查治具及其制造方法、以及具有检查治具的检查装置

权利要求书

1.一种检查治具，其特征在于，包括：

棒状的探针，一端部被压接于检查对象；以及

板状的第一支撑体，具有支撑所述探针的支撑孔，并且

所述支撑孔包括随着从所述第一支撑体的一壁面侧靠近所述第一支撑体的板厚方向中间部侧而扩径的第一锥孔部。

2.根据权利要求1所述的检查治具，其中，所述支撑孔还包括随着从位于所述一壁面的相反侧的另一壁面侧靠近所述板厚方向中间部侧而扩径的第二锥孔部。

3.根据权利要求1所述的检查治具，其中，所述支撑孔还包括从位于所述一壁面侧的相反侧的另一壁面侧向所述板厚方向中间部侧以均匀的口径延伸的直孔部。

4.根据权利要求2或3所述的检查治具，其中，所述第一支撑体具有位于所述一壁面侧的第一支撑板及位于所述另一壁面侧的第二支撑板，

所述第一锥孔部设置于所述第一支撑板。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的检查治具，其中，所述检查治具还包括支撑所述探针的第二支撑体，

所述第一支撑体预定与所述检查对象相向配置。

6.根据权利要求5所述的检查治具，其中，所述探针具有棒状体及筒状体，所述棒状体包括导电性构件，所述筒状体包括供所述棒状体插入的导电性构件，并且

在所述筒状体上设置有螺旋状的弹簧部，

位于所述一壁面侧的所述第一锥孔部的直径比所述棒状体的外径大，且比所述筒状体的外径小。

7.一种检查治具的制造方法，所述检查治具为如权利要求4所述的检查治具，所述检查治具的制造方法，其特征在于，包括：

第一锥孔部形成步骤，在所述第一支撑板上形成所述第一锥孔部；以及

接合步骤，将所述第一支撑板与所述第二支撑板重合并接合。

8.根据权利要求7所述的检查治具的制造方法，其中，所述第一锥孔部形成步骤是通过在所述一壁面侧配置激光加工机，并以使从所述激光加工机照射的激光光的照射方向沿所述第一锥孔部的周壁面的方式进行设置后，一边从所述激光加工机向所述第一支撑板照射激光光，一边使所述激光加工机以所述第一锥孔部的轴心为中心进行旋转，来形成所述第一锥孔部。

9.一种检查装置，其特征在于，包括：如权利要求1至6中任一项所述的检查治具；以及检查部，与所述探针的后端部电连接，并且向所述探针的后端部提供电信号来进行检查对象的检查。