[发明专利]一种柔性触觉传感器

权利要求书

1.一种柔性触觉传感器，其特征在于，包括上电极层、中间电极层、下电极层、柔性绝缘层、压电薄膜和两个绝缘的具有弹性的柔性介质层；一个柔性介质层位于上电极层与中间电极层之间，该柔性介质层的上、下表面分别紧贴上电极层的下表面、中间电极层的上表面；另一个柔性介质层位于中间电极层与下电极层之间，该柔性介质层的上、下表面分别紧贴中间电极层的下表面、下电极层的上表面；柔性绝缘层紧贴在下电极层的下表面，压电薄膜紧贴在柔性绝缘层的下表面；压电薄膜的上、下表面各引出一根导线，分别与电荷放大器相连；

所述上电极层包括横向的第一电极、第二电极和第三电极，第一电极和第三电极分别位于第二电极的上、下端，与第二电极相互平行且不接触；第一电极、第二电极和第三电极在上电极层上分别引出一根导线；

所述下电极层包括竖向的第四电极、第五电极和第六电极，第四电极和第六电极分别位于第五电极的两侧，与第五电极相互平行且不接触；第五电极的长度等于第一电极与第三电极之间的最短距离；第四电极与第六电极之间的最短距离等于第二电极的长度；第四电极、第五电极和第六电极在下电极层上分别引出一根导线；

所述中间电极层的长、宽分别等于第二电极的长度和第五电极的长度，使第二电极和第五电极在空间中恰好与中间电极层完全重合；这样中间电极层分别与第一电极、第二电极、第三电极、第四电极、第五电极和第六电极构成电容单元，即该传感器由六个电容单元构成；中间电极层引出一根导线，与外部测量电路的GND端相连；第一电极、第二电极、第三电极、第四电极、第五电极和第六电极的导线分别接入外部测量电路的容阻分压电路中，各个电极相互并联；

柔性介质层的长、宽分别等于第一电极与第三电极之间的最大距离以及第四电极与第六电极之间的最大距离。

2.根据权利要求1所述的柔性触觉传感器，其特征在于，所述柔性介质层为绝缘弹性体，厚度为1-5mm。

3.根据权利要求1所述的柔性触觉传感器，其特征在于，所述上电极层和下电极层均采用导电胶布或导电铜箔胶带制成，中间电极层采用双面碳导电胶带或双面铜导电胶带制成，上电极层、下电极层和中间电极层的厚度均为0.01-0.05mm。

4.根据权利要求1所述的柔性触觉传感器，其特征在于，所述柔性绝缘层采用聚对苯二甲酸乙二醇酯膜或聚酰亚胺树脂膜制成，厚度为0.025mm。