[发明专利]一种曝光机自动上下片装置在审
| 申请号： | 201911300564.6 | 申请日： | 2019-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN111007701A | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 李国强 | 申请（专利权）人： | 河源市众拓光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 王忠浩 |
| 地址： | 517000 广东省河*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 自动 下片 装置 | ||
1.一种曝光机自动上下片装置，其特征在于：包括传送机械手、第一装片卡槽、自动对平边装置与曝光机，所述传送机械手设置在所述曝光机前端，所述第一装片卡槽设置在所述传送机械手左侧，所述自动对平装置设置在所述传送机械手与所述曝光机之间，所述传送机械手适于将所述第一装片卡槽中的晶元输送至所述自动对平装置中，由所述自动对平边装置将晶圆输送至所述曝光机中进行曝光，所述自动对平边装置包括激光找平器、第一真空吸盘、第一真空吸盘驱动装置、导轨与上片机械手，所述第一真空吸盘适于吸附由所述传送机械手输送至所述自动对平装置中的晶元，所述第一真空吸盘驱动装置适于驱动晶元转动，以使所述激光找平器对准设置在晶元侧面的平边，当激光找平器对准设置在晶元侧面的平边时，所述上片机械手适于将第一真空吸盘上晶元取下，并沿所述导轨运动至所述曝光机，由所述曝光机对晶元进行曝光。
2.如权利要求1所述的一种曝光机自动上下片装置，其特征在于：所述传送机械手包括驱动电机、第一机械臂、第二机械臂与取片叉，所述第一机械臂第一端与可转动地安装于所述驱动电机上，第二端与所述第二机械臂的第一端转动连接，所述取片叉可转动地安装于所述第二机械臂第二端。
3.如权利要求1所述的一种曝光机自动上下片装置，其特征在于：还包括用于存放曝光后晶元的第二装片卡槽。
4.如权利要求3所述的一种曝光机自动上下片装置，其特征在于：所述第一装片卡槽及所述第二装片卡槽采用可拆卸式卡槽。
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