[发明专利]一种基于疏松碳结构与亲水聚合物材料复合的电阻式湿度传感装置的制备方法有效
| 申请号： | 201911300882.2 | 申请日： | 2019-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN110849941B | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 武震林;潘路军;惠芳;赵永鹏;于嘉琛;王宝民;韩俊男 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 大连星海专利事务所有限公司 21208 | 代理人： | 杨翠翠 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 疏松 结构 聚合物 材料 复合 电阻 湿度 传感 装置 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于疏松碳结构与亲水聚合物材料复合的电阻式湿度传感装置的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
所述湿度传感装置是基于平行导电电极之间的疏松碳纳米薄膜结构表面覆盖亲水性聚合物材料；
（1）制备柔性基底并在其基底上面制备平行导电电极
制备聚二甲基硅氧烷并在其表面通过磁控溅射法制备200 nm的平行金电极，电极间隙为100 μm；
（2）疏松碳纳米薄膜结构沉积在平行电极间隙中
Fe2(SO4)3/SnCl2溶液作为催化剂前驱体滴在石英基板上，干燥后将该基板在710 ℃下煅烧30 min；再利用热化学气相沉积的方法在325 sccm流速的氩气环境下引入15 sccm流速的乙炔气体并在710 ℃下煅烧30 min，在该基板表面合成碳纳米线圈；将基板置于乙醇中再放入超声波清洗仪中超声，即可得到碳纳米线圈分散液；将碳纳米线圈分散液滴入金电极间，在金电极上施加5 V, 1 KHz的交流电利用电泳方式沉积碳纳米线圈；
（3）亲水聚合物材料覆盖在疏松碳纳米薄膜表面
在碳纳米线圈上滴铸亲水聚合物材料溶液并干燥即可制得湿度传感装置；所述亲水聚合物材料采用壳聚糖或聚乙烯醇。
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