[发明专利]一种位敏阳极探测器及其制作方法

权利要求书

1.一种位敏阳极探测器，包括管壳壳体（01）、微通道板组件（21）、位敏阳极组件、带有光阴极（24）的输入窗（1）；所述输入窗（1）和位敏阳极组件分别设置在管壳壳体（01）两侧开口处，形成真空密封腔；所述光阴极（24）、微通道板组件（21）位于真空密封腔内；其特征在于：

所述位敏阳极组件包括上层阳极接收面板（02）、下层阳极接收面板（03）及引线电极；

所述上层阳极接收面板（02）和下层阳极接收面板（03）平行间隔设置，所述间隔小于等于0.5mm；

所述上层阳极接收面板（02）包括上层绝缘基底（17）、设置在上层绝缘基底（17）上表面的上层金属电极（16）、设置在上层绝缘基底（17）下表面的上层地极（18）；

所述上层金属电极（16）为微带线结构的电极，微带线呈蛇形排布；

所述上层绝缘基底（17）上设有2个供引线电极穿过的上引线电极孔，与上层金属电极（16）收集区域内微带线间部分对应的上层绝缘基底（17）区域为镂空（23）；

所述下层阳极接收面板（03）包括下层绝缘基底（11）、设置在下层绝缘基底（11）上表面的下层金属电极（13）、设置在下层绝缘基底（11）下表面的下层地极（14）；

所述下层金属电极（13）为微带线结构的电极，微带线呈蛇形排布，且下层金属电极（13）的微带线结构与上层金属电极（16）的微带线结构在异层平面上呈垂直交叉；

所述下层绝缘基底（11）上设有4个供引线电极穿过的下引线电极孔；

所述下层阳极接收面板（03）的下层金属电极（13）宽度大于上层阳极接收面板（02）的上层金属电极（16）宽度；

所述引线电极包括2个上引线电极（12）、2个下引线电极（15）；

2个上引线电极（12）分别穿过其中2个下引线电极孔、2个上引线电极孔后，与上层金属电极（16）的两输出端相连；

2个下引线电极（15）分别穿过其余2个下引线电极孔后，与下层金属电极（13）的两输出端相连。

2.根据权利要求1所述位敏阳极探测器，其特征在于：所述上层绝缘基底（17）厚度为0.1~0.2mm，下层绝缘基底（11）厚度为1~2mm；

所述间隔为0.1~0.3mm。

3.根据权利要求2所述位敏阳极探测器，其特征在于：所述上层阳极接收面板（02）和下层阳极接收面板（03）通过阳极定位封接环组件定位连接；

所述下层绝缘基底（11）上表面设有第一环形缺口；

所述阳极定位封接环组件包括阳极定位封接环（10）和上层接收阳极压环（19），阳极定位封接环（10）下部位于第一环形缺口中，所述阳极定位封接环（10）内壁上部沿圆周方向设有第二环形缺口，上层绝缘基底（17）设置在第二环形缺口内；

所述上层接收阳极压环（19）设置在阳极定位封接环（10）上端面，对上层绝缘基底（17）进行限位固定。

4.根据权利要求1所述位敏阳极探测器，其特征在于：所述管壳壳体（01）包括同轴依次叠放的铟封环（3）、第一陶瓷环（4）、MCP输入电极环（5）、第二陶瓷环（6）、MCP输出电极环（7）、第三陶瓷环（8）、阳极封接环（9）；

所述铟封环（3）上开设有铟封槽（2），所述输入窗（1）固定于铟封槽（2）内；

所述微通道板组件（21）安装在MCP输出电极环（7）上，且微通道板组件（21）输入面和MCP输入电极环（5）之间设有MCP压环（22）；

所述阳极封接环（9）与阳极定位封接环（10）焊接固定。

5.根据权利要求1至4任一所述位敏阳极探测器，其特征在于：所述输入窗（1）材质为光纤面板或石英或氟化镁或K9玻璃；

所述光阴极（24）为S20阴极或S25阴极或CsTe阴极。

6.根据权利要求5所述位敏阳极探测器，其特征在于：所述光阴极（24）的阴极面与微通道板组件（21）的输入面之间的距离为0.1~0.2mm。

7.根据权利要求6所述位敏阳极探测器，其特征在于：所述微通道板组件（21）包括“V”型级联的两块MCP或“Z”型级联的三块MCP。