[发明专利]一种感应读出的异层结构位敏阳极及其制作方法

权利要求书

1.一种感应读出的异层结构位敏阳极，其特征在于：包括阳极基底(3)、W电极(1)、S电极(2)及Z电极(4)，

所述W电极(1)和S电极(2)位于同一个平面层，且位于阳极基底(3)的顶层；

所述Z电极(4)位于另外一个平面层，且位于阳极基底(3)的底层。

2.根据权利要求1所述感应读出的异层结构位敏阳极，其特征在于：两个平面层上均设有引出电极(8)；

所述阳极基底(3)上设有与所述引出电极(8)相配合的电极引出孔(7)；

所述阳极基底(3)上还设有用于两平面层定位的第一标记孔(5)。

3.根据权利要求2所述感应读出的异层结构位敏阳极，其特征在于：还包括与阳极基底(3)的顶层或底层连接的支撑环(6)；

所述支撑环(6)的外轮廓尺寸与阳极基底(3)的外轮廓尺寸相适配，支撑环(6)的内径大于电极的收集区域外径；

所述支撑环(6)的材质与阳极基底(3)相同。

4.根据权利要求1至3任一所述感应读出的异层结构位敏阳极，其特征在于：所述阳极基底(3)为双面覆铜板；

所述双面覆铜板的基材为FR4或PTFE板材，基材厚度为0.1～0.3mm，铜厚度为2μm～17μm。

5.根据权利要求3所述感应读出的异层结构位敏阳极，其特征在于：所述阳极基底(3)和支撑环(6)之间设有粘接胶；

所述支撑环(6)上设有与所述第一标记孔(5)配合的第二标记孔(9)。

6.一种感应读出的异层结构位敏阳极制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

1)确定电极分布位置

根据所需位敏阳极的图形和位敏阳极的解码公式，确定分布在位敏阳极顶层和底层的电极；

所述电极包括W电极(1)、S电极(2)、Z电极(4)；

所述位敏阳极的解码公式为：

X＝2*Q_s/(Q_w+Q_s+k*Q_z)，Y＝2*Q_w/(Q_w+Q_s+k*Q_z)；

其中，Q_w、Qs、Qz分别是W电极(1)、S电极(2)、Z电极(4)收集到3个电脉冲的电量；

X、Y分别是指阳极收集电子云团的质心坐标；

k为校正因子；

2)制作掩膜版

根据所需位敏阳极外形尺寸分别制作顶层电极图形掩膜版和底层电极图形掩膜版；

所述顶层电极图形掩膜版包括W电极(1)和S电极(2)，所述底层电极图形掩膜版包括Z电极(4)；

3)加工阳极基底(3)

3.1)根据所需位敏阳极的大小加工阳极基底(3)，加工后的阳极基底(3)尺寸与所需位敏阳极外形尺寸相适配；

3.2)利用顶层电极图形掩膜版在阳极基底(3)顶层光刻出W电极(1)、S电极(2)的图形；利用底层电极图形掩膜版在阳极基底(3)底层光刻出Z电极(4)的图形。

7.根据权利要求6所述感应读出的异层结构位敏阳极制作方法，其特征在于，还包括：

步骤4)安装支撑环(6)

4.1)根据阳极基底(3)尺寸加工相对应的支撑环(6)，所述支撑环(6)的外轮廓尺寸与阳极基底(3)的外轮廓尺寸相适配，支撑环(6)的内径大于电极的收集区域；

所述支撑环(6)的材质与阳极基底(3)相同；

4.2)将步骤3.2)加工的阳极基底(3)与步骤4.2)加工的支撑环(6)进行固定。